了解计算机断层扫描的准确性:

2021年6月15日 | Dirk Steiner

人们可能会认为,使用相同的已校准工具进行测量,无论被测对象是什么,其准确度都是一样的。但正如白皮书《测量不确定度》所展示的那样,计量远不止于此。

Accuracy_4a-桃子的测量
Accuracy_4b-钴方块的测量

人们可能会认为,只要使用同一台经过校准的仪器,无论被测对象是什么,测量结果的精度都应相同。但正如本白皮书将要阐述的那样,计量学远不止于此。“测量不确定度”不仅会受到被测对象的影响,也会受到具体测量任务的影响。

在我们的行业中,我们利用计量学来测量特定特征,并将其与规定的公差进行比较。核心问题是:“如何通过特定测量过程,对特定特征进行足够精确的测量,以满足‘在公差范围内’这一指定要求?”。第一步是确定测量不确定度。第二步是将该确定值与公差进行比较,进而判断该测量过程是否适用。

若想更深入地探讨精度与准确度的话题,以及二者之间的区别,请下载完整的白皮书,其中Dirk Steiner通过实例、图表和计算,详细阐述了两者的异同。

下载这份免费的白皮书。

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准确性-缩略图

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透过玻璃观察:先进封装中穿玻璃过孔(TGV)的X射线检测

2026年6月22日 | 丹尼尔·施蒂克勒(Daniel Stickler)博士

作为先进半导体封装的基板材料,玻璃正受到越来越多的关注。其尺寸稳定性和电学性能使其成为大面积面板和高密度互连结构的理想基板。但当利用穿玻璃过孔(TGV)在玻璃中布设电气连接时,便出现了一个新的检测难题:许多相关缺陷从表面已无法观察到。 在 2026 年日本光掩模大会(Photomask Japan 2026)上,我们展示了针对玻璃基板和 TGV 结构的首批成像案例。这些结果表明,X 射线成像能够以无损方式检测蚀刻玻璃通孔和金属化 TGV 中的缺陷——同时也阐明了倾斜射线照相、计算层析成像、探测器性能以及人工智能辅助分析为何至关重要。

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