FF35 CT 配备可选的双管配置,在检测中小型零件时,既能提供前所未有的 CT 数据质量,又能实现极高的灵活性。
FF35 CT亮点
- 单管或双管配置,可为实验室微CT应用提供极高的灵活性
- 只需轻触一个按钮,即可在几秒钟内切换微聚焦管和纳米聚焦管
- 得益于花岗岩基座的支撑和空调系统,可获得精准的测量结果
- 通过软件平台实现多种CT扫描轨迹和视野扩展,从而确保应用的灵活性Geminy
- 可选计量级版本,其MPESD值为5.9 µm + L/75 [L以毫米为单位]
- 提供符合半导体市场标准的FF35 CT和SEMI 版本
- 最大样品重量现已提升至50公斤——也可作为升级选项提供
- 新品!免维护型 160kV 纳米聚焦电子枪,专为最具挑战性的高分辨率扫描任务而设计
- 新推出!225 kV X射线管现已配备高功率密度(HDP)靶。功率密度更高,检测速度更快,分辨率更佳
对极小至中等尺寸零件进行灵活检测
Comet 、YxlonFF35 CT、FF35 CT计量 以及FF35 CTSEMI 涵盖了极其广泛的应用领域。其功能包括提升研发部门的材料测试能力、优化工艺控制和小批量检验,以及各种科学应用。双X射线管配置使这款高分辨率CT系统能够显著拓展汽车、电子、航空和材料科学行业在质量保证和研究方面的可能性。
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灵活性高、稳定性强、
维护需求低。
FF35 CT现已配备全新的
160 kV纳米焦点 X射线管。该X射线管融合了
开放式和封闭式
X射线管的经典优势,非常适合需要
较长扫描时间或需进行连续
操作的样本,同时能提供可靠的600 nm
细节可见度以及极佳的重复性。
成熟技术:225 kV 微聚焦定向 电子束管
凭借320 W的高功率和水冷靶,这款225 kV的Comet Yxlon定向 束管可在不到一分钟的时间内完成快速CT扫描。在2D模式下,该束管可达到4 μm的空间分辨率。在单次检测序列中,可在微聚焦定向 束管与纳米聚焦透射式 束管之间切换,这大大扩展了其应用范围。 该225 kV微聚焦管还可配备新型高密度功率靶。
绝佳之选:190 kV 纳米聚焦型透射式 电子枪
对于尺寸为10毫米及以下的部件,具备亚微米级分辨率的190 kV纳米聚焦透射式 电子管是理想的解决方案。它能够对各类样品进行高分辨率检测:其水冷式电子管头可实现快速温度平衡和极高的焦斑稳定性,而四种工作模式则能根据功率对焦斑尺寸进行最佳调节。 由于这两款电子管均配备独立的发电机和高压电缆,因此切换时无需重新配置。
用于 225 kV X 射线管的高密度功率(HDP)靶。
这款新型HDP靶材在保持与常规大功率靶材相同的外形规格 特性及水冷稳定性基础上,将可用功率密度提高了2倍。这使得在更小的焦斑尺寸下,可用X射线剂量得以显著增加,最终在不牺牲分辨率的前提下实现更快的检测速度。以下关于线弧增材制造零件的对比示例展示了这种性能提升。 在功率恒定为200W的情况下,HDP靶材更高的功率密度使得焦斑尺寸显著减小,从而使扫描分辨率翻倍,并能在不降低成像速度的前提下,更精确地检测更微小的缺陷。
标准目标
HDP 目标
标准目标
HDP 目标
样本由亚琛工业大学(RWTH Aachen University)ISF焊接与连接研究所提供
多种路径,实现最大灵活性
借助图形化符号和丰富的自动化功能,直观的用户界面Geminy 能够实现简便的操作——无论操作员的技术水平如何。同时,它还提供了大量功能,以适应不同工件尺寸和检测任务的需求,其中包括HeliExtend(螺旋CT扫描和重建方法)等CT扫描路径、水平视野扩展、虚拟旋转轴以及标准的Quick/QualityScan功能。
FF35 CT 可以检测哪些物品?
- 电子元器件,包括表面贴装元件(SMD)和半导体封装
- 晶圆 冲压模和模具
- 微系统(MEMS、MOEMS)
- 涉及新材料或新制造方法的产品,例如:增材制造部件、纤维增强塑料
- 电池电芯和电池组
- 注塑成型塑料
- 医疗器械,例如:导管
- 轻合金铸件
- 地质、古生物学和生物学样本
FF35 CT适用于哪些应用场景?
- 质量保证、材料分析与研究
- 失效与结构分析
- 装配检查
- 小批量生产的检验
- 过程控制
- 数字化
- 细分
FF35 CTSEMI :专为半导体领域的应用而开发
Comet YxlonFF35 CTSEMI X射线系统是一款创新且用途广泛的高分辨率CT系统,适用于研发和质量保证领域。该系统专为半导体相关行业的检测而开发。FF35 CTSEMI 符合SEMI®的高标准,包括危害与安全标准SEMI® S2-0818和SEMI® S8-0218,并已获得相应认证。
注册以下载
利用……测量最微小的内部结构FF35 CT计量
Comet 的YxlonFF35 CT计量 将基于CT的尺寸控制精度(例如对最精细内部结构的测量)提升到了一个新的高度。它能在一次CT扫描中采集几乎无限数量的测量点,且该过程与测量评估相互独立。无缝的缺陷分析和理论值与实际值的对比,不仅节省了时间,还减少了产品抽样过程中的修正循环次数和修正成本。FF35 CT计量 符合VDI/VDE 2630标准。
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技术参数
| 样品直径 | 530 [毫米] (20.9 英寸) |
| 样品高度 | 800 [毫米] (31.5 英寸) |
| 最大样品重量 | 50 [千克] |
| 系统尺寸(宽/深/高) | 2960 × 1590 × 2120 [毫米] |
| X射线管 | 单管或双管系统,包括160 kV Nano-focus电子管或190 kV透射式 电子管,以及 225 kV定向 束流管 |
| 可用的CT扫描模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter(虚拟旋转轴)、ZoomScan、LayerScan、ScanExtend(视野扩展)、体积裁剪 |
| 操纵 | 花岗岩底座,主动式空气减震,6至8轴,宽FDD范围 |
FF35 CT“SEMI ”宣传单(pdf)