CA20
旨在以最高分辨率提供卓越的 2D 和 3D 图像， CA20 能够以最快的速度检测微米级细节，并缩短复杂 3D IC 的上市时间。
CA20 特征
- 专为半导体行业设计
- 一种可在数分钟内对焊球进行三维识别的无损技术
- 采用可靠、精确的技术，可获得可重复的结果，旨在支持稳定的检测流程。
- 高效的软件辅助审查，包括使用 Void Insights 进行自动空隙分析。
- 剂量管理器用于保护 X 射线敏感组件
技术参数
| 应用程序/版本 | MXI / 实验室 | AXI / 晶圆厂 |
| 最大检测范围 | 435 毫米（17 英寸） | 435 毫米（17 英寸） |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 1650 × 1400 × 2050 毫米 | 1955 × 3100 × 2200 毫米* |
| 系统重量 | ~ 2350 公斤 | ~ 3650 公斤 |
| 探测器有效面积 | 130 × 130 毫米 | 130 × 130 毫米 |
| 像素矩阵 | 1536 × 1536 像素 | 1536 × 1536 像素 |
| 像素间距 | 85 µm | 85 µm |
| 斜视图 | +/- 65° (130°) | +/- 65° (130°) |
| 零件最大重量 | 1–2 公斤** | 0.5 公斤*** |
| 扫描模式 | 2D、2.5D、3D | 2D、2.5D、3D |
*取决于风机过滤单元/洁净室等级。**最大工件重量：1 千克（放置在碳板上），2 千克（若固定在工作台侧面的工件夹持器上）。***所有工件的总重量（含载体重量）
CC系列
猎豹隆重登场EVO 和美洲狮EVO ，微焦点 专为满足工业4.0需求而设计的检测系统：猎豹EVO Cougar 在 SMT、半导体和实验室检测方面表现出色。 EVO 提供精准可靠的工业检测。
猎豹EVO 特征
- 快速且可重复的检测
- 使用 VoidInspect 自动计算空隙
- 易于使用的强大滤镜，例如 eHDR
- 使用micro3Dslice和FF CT软件实现最佳层析成像
- 低剂量检测模式，适用于剂量降低套件、剂量监测和敏感部件
- 可选配新型水冷式X射线管，以实现稳定的聚焦位置
- Optional high load capacity (<20 kg)
技术参数
| 样本量 | 800 × 500 [毫米]（31英寸 × 19英寸） |
| 最大透视范围 | 460 × 410 [毫米]（18英寸 × 16英寸） |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 1650 × 1400 × 2050 [毫米] |
| 系统重量 | 2200 公斤 |
| FeinFocus X射线管 | FXT-160.50微焦点 或 FXT-160.51 多焦点，电压范围 20 - 160 kV |
| 像素矩阵 | 1004 × 620 像素（平板探测器 1308）、1004 × 1004 像素（平板探测器 1313）、1276 × 1276 像素（平板探测器 1616） |
| 像素间距 | 127 µm |
| 位深度 | 16位 |
| 斜视图 | ±70°（140°） |
| 3D 模式 | 层析成像（micro3Dslice）、CT QuickScan、QualityScan |
美洲狮EVO 特征
- 可靠、快速、可重复的检测，支持手动和自动操作
- 使用 VoidInspect 自动计算空隙
- 易于使用、可增强动态范围的滤镜，例如 eHDR
- 采用微型3D切片和FF CT软件的最佳层析成像技术
- 剂量降低套件和低剂量探测器模式可以对敏感部件进行成像。
占地面积最小
技术参数
| 样本量 | 440 × 550 [毫米]（17 英寸 × 21 英寸） |
| 最大透视范围 | 310 × 310 [毫米]（12英寸 × 12英寸） |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 1000 × 1050 × 2200 [毫米] |
| 系统重量 | 1450 千克 |
| FeinFocus X射线管 | FXT-160.50微焦点 或 FXT-160.51 多焦点，电压范围 20 - 160 kV |
| 像素矩阵 | 1004 × 620 像素（平板探测器 1308）、1004 × 1004 像素（平板探测器 1313）、1276 × 1276 像素（平板探测器 1616） |
| 像素间距 | 127 µm |
| 位深度 | 16位 |
| 斜视图 | ±70°（140°） |
| 3D 模式 | 层析成像（micro3Dslice）、CT QuickScan、QualityScan |
用户体验系列
UX50 和 UX20 是先进的微焦点和中焦点检测系统，可提供卓越的性能：UX50 具有较大的检测范围、多个扩展视野和强大的 450 kV X 射线管，使其成为检测复杂、高密度零件的理想选择；UX20 提供直观的操作，使各种专业水平的用户都能在手动、辅助和自动模式下高效快速地执行 X 射线和 CT 检测。
UX50 功能
- 高功率450千伏X射线管
- 可配备线探测器或平板探测器。
- 直观的用户界面
- 符合2D/3D国际标准
- 紧凑型设计
- 适用于汽车、金属铸造和增材制造等应用领域
技术参数
| 样品直径 | 600 [毫米] |
| 样品高度 | 850 [mm] 平板探测器 / 800 [mm] 线性探测器 |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 2,620 × 1,945 × 2,560 [mm] 平板探测器 / 2,620 × 2,585 × 2,775 [mm] 线状探测器 |
| 最大样品重量 | 100 [千克] |
| X射线管 | 450 kV 微聚焦 |
| 探测器类型 | 平板探测器 4343 N 和/或Comet Yxlon 线性探测器 CTScan 3 |
| CT 模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、SpeedMode、扇束CT、ScanExtend（视野扩展）、体积裁剪 |
| 体素大小 | 降至 55 [µm] |
| 带平板探测器的CT（3D）检查套件 | 570 × 850 [毫米] |
| 带线性探测器的CT（3D）检查套件 | 600 × 800 [毫米] |
| 检验信封 DR（2D） | 520 × 850 [毫米] |
| 操纵 | 5轴 |
UX20 功能
- 经过现场验证的铸造用ADR软件
- 标杆级高图像质量
- 快速二维和三维检测
- 可选配225 kV中焦X射线管
- 使用 Scatter Fix（抗散射）2.0 进行图像优化
- 自动数据传输
- 智能卫士（防碰撞）
- 占地面积小
- 坚固耐用的设计
技术参数
| 配置 | 平板探测器 2323 HB | 平板探测器 4343 DXi |
| 最大样品重量 | 100 [千克] | 100 [千克] |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 2250 × 1770 × 2350 [毫米] | 2250 × 1770 × 2350 [毫米] |
| 可选的X射线管 | 160-225 [kV] 微聚焦，225 kVMesoFocus | 160-225 [kV] 微聚焦，225 kVMesoFocus |
| 探测器有效面积 | 1280 × 1280 [像素] | 3072 × 3072 [像素] |
| 像素间距 | 179 [微米] | 139 [微米] |
| 斜视图 | +/-55（中央光束为45°） | +/-55（中央光束为45°） |
| CT 模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、FlexCenter（虚拟旋转轴）、ZoomScan、SpeedMode、ScanExtend（视野扩展） | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、FlexCenter（虚拟旋转轴）、ZoomScan、SpeedMode、ScanExtend（视野扩展） |
| 检验信封 DR（2D） | 710 × 1090 [毫米] | 800 × 1100 [毫米] |
| CT（3D）检测信封 | 190 × 165 [毫米] | 340 × 280 [毫米] |
| 带 ScanExtend 功能的 CT 检测包（3D） | 315 × 1085 [毫米] | 540 × 1100 [毫米] |
| 操纵 | 5轴 | 5轴 |
FF系列
FF85 CT 特点
- 两根扫描管，平板探测器和线阵探测器，适用于从微型CT到高能CT的广泛应用。
- 多功能视野扩展，螺旋和双螺旋CT技术实现宽广的检测范围
- 花岗岩底座可提供最佳温度环境和精确操作。
- 具有极高的多功能性，最多可配备 7 个操作轴
- 直觉的Geminy 用户界面采用触摸屏，方便系统操作。
技术参数
| 样品直径 (1) | 最大1800（毫米） |
| 样本高度 (1) | 最大 3000 [毫米] |
| 最大样本权重 (1) | 1000 [千克] |
| 焦距-检测器距离（FDD）（2） | 最高 3700 [毫米] |
| 可选的X射线管 | 600 kV Minifocus 450 kV Minifocus 450 kVMesofocus 300 kV微焦点 225 kV微焦点 190 kV纳米焦点 |
| 可用的X射线探测器 | 平板探测器 线探测器阵列 |
| 可用的CT扫描模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（虚拟旋转轴）、ZoomScan、LayerScan、SpeedMode、扇形束CT、ScanExtend（视野扩展）、体积裁剪 |
| 操纵 | 7轴，花岗岩底座 |
(1) 取决于所选配置。下图所示为超大工件的配置：
(2) 所示规格适用于微聚焦和线性探测器
FF35 CT 特征
- 单管或双管配置为实验室微型CT应用提供了最大的灵活性。
- 切换至 225 kV微焦点 电子管和 190 kV纳米焦点 只需轻触按钮，几秒钟内即可完成管道连接
- 花岗岩加工和空调系统确保结果准确
- 该软件平台可通过各种CT轨迹和FoV扩展实现应用灵活性。 Geminy
- 可选计量版本，MPESD = 5.9 µm + L/75 [L 单位为毫米]
- FF35 计算机断层扫描SEMI 提供符合半导体市场标准的版本
- 最新消息！最大样品重量已更新为 50 公斤。
技术参数
| 样品直径 | 530 [毫米] (20.9 英寸) |
| 样品高度 | 800 [毫米] (31.5 英寸) |
| 最大样品重量 | 50 [千克] |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 2960 × 1590 × 2120 [毫米] |
| X射线管 | 单管或双管系统，包括160 kV Nano-focus电子管或190 kV透射式 电子管，以及 225 kV定向 束流管 |
| 可用的CT扫描模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（虚拟旋转轴）、ZoomScan、LayerScan、ScanExtend（视野扩展）、体积裁剪 |
| 操纵 | 花岗岩底座，主动式空气减震，6至8轴，宽FDD范围 |
FF20 CT 功能
- 实验室应用中的精确材料分析
- 在190千伏电压下，二维细节可视度可达150纳米。透射式 管子
- 花岗岩底座确保了精准的操作和温度稳定性
- 直觉的Geminy 带触摸屏的图形用户界面
技术参数
| 样品直径 | 380 [mm] (11.02 英寸) |
| 样品高度 | 700 [毫米] (27.6 英寸) |
| 最大样品重量 | 17 [千克] |
| 系统尺寸（宽/深/高） | 2380 × 945 × 2180 [毫米] |
| X射线管 | 190 kV透射式 电子管 |
| 可用的CT扫描模式 | 锥形束CT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（虚拟旋转轴）、ZoomScan、LayerScan、SpeedMode、ScanExtend（视野扩展）、体积裁剪 |
| 操纵 | 花岗岩底座，主动空气减震，6轴，宽FDD范围 |
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