2025年5月19日
フランスのエコール・ポリテクニークにあるプラズマ物理研究所（LPP）との共同研究により、Synertia® RFジェネレータ導入に成功し、高度なプラズマ研究を支援しています。このパートナーシップは、実験の精度と制御性を向上させ、科学イノベーションを推進する上で産学連携が果たす重要な役割を示しています。
について
プラズマ物理学研究所（LPP）は2009年1月に設立され、高温プラズマから低温プラズマ、実験室プラズマから宇宙プラズマまで、プラズマ物理学のあらゆる分野の研究を、理論、シミュレーション、実験的手法を組み合わせて行っています。
Comet 製品
Comet Plasma Control Technologiesは、科学技術革新の推進に対する継続的な取り組みにおいて、重要なマイルストーンを達成したことを誇りをもって発表いたします。2024年春、フランスのエコール・ポリテクニークにある名門プラズマ物理学研究所（LPP）との共同研究に着手し、最先端のSynertia® RFジェネレータ同研究所の高度な研究プロジェクトに導入しました。このプロジェクトは、酸素-アルゴン混合ガスにおける高周波容量結合プラズマ（RF CCP）の実験的研究を中心としており、プラズマインピーダンス、電子密度、その他の重要な測定値といった複雑なプラズマパラメータを詳細に調べています。このような研究は、材料科学から半導体製造、環境持続可能性に至るまで幅広い分野に応用可能なプラズマ物理学をより深く理解するために不可欠です。
LPPチームが最初に当社に連絡してきたとき、彼らの主な要件は制御されたカスタマイズされた波形でした。これは、当社のSynertia® RFジェネレータ当初設計したものではありませんでした。しかし、当社のジェネレーターの柔軟性と高度な機能はすぐに明らかになりました。Synertia® RFジェネレータ この研究の成功に不可欠だったいくつかの重要な機能を提供しました。具体的には以下のとおりです。
自動周波数チューニング
最小限の手動調整でパフォーマンスを最適化し、一貫性のある信頼性の高い結果を保証します。
高精度RF測定
研究者が有意義な結論を導き出し、情報に基づいた意思決定を行えるよう、正確なデータを提供する。
ユーザーフレンドリーなインターフェース
プラズマ変動のリアルタイム制御と容易な可視化を提供することで、研究者の作業プロセスを大幅に簡素化し、生産性と精度の両方を向上させた。
マルチレベルパルス
高度なプラズマ研究において極めて重要な、実験装置の精密な制御を可能にする。
画像をクリックすると拡大表示されます
画像をクリックすると拡大表示されます
画像をクリックすると拡大表示されます
画像をクリックすると拡大表示されます
CNRS-エコール・ポリテクニークとのパートナーシップは、産業界と学術界の連携がもたらす力の好例です。一流の科学者や研究機関と協力することは、プラズマ物理学の分野を発展させ、私たちが開発するツールや技術が研究者が直面する現実世界の課題に対応できるようにするために不可欠です。
抽象的な
中圧酸素プラズマにおける過渡的反応性種の反応速度論
酸素中低温プラズマは、表面洗浄、医療機器の滅菌、プラズマを用いた水処理など、さまざまな処理用途で広く利用されています。特に、RF（高周波）CCP（容量結合プラズマ）は、化学蒸気処理によく用いられています。成膜 マイクロエレクトロニクスにおける金属酸化物薄膜、材料エッチング、レジスト剥離など。
しかし、低圧または大気圧プラズマとは異なり、中間圧プラズマは、この圧力範囲での診断やシミュレーションに伴う課題のため、研究があまり進んでおらず、十分に理解されていません。実験的には、既存の電子密度測定法は、このような高圧で弱電離したプラズマではあまり適切ではありません。特に、ラングミュアプローブは、プローブシース内での頻繁な衝突と強い高周波振動のため、使用が困難になります。モデリングの面では、圧力が上昇するにつれてPICシミュレーションのコストが非常に高くなり、流体モデルにもいくつかの問題がありますが、これについては後ほど説明します。
本論文では、酸素-アルゴンプラズマを実験的手法とモデリング手法の両方を用いて調査し、この圧力範囲におけるプラズマ中の電荷中性粒子と荷電粒子のダイナミクスをより深く理解することを目的とする。以下の研究を行った。
1. 中圧における直流グロー放電の調査：本研究では、CRDS（キャビティリングダウン分光法）を用いて酸素原子密度とガス温度を測定しました。プラズマの安定化が時間とともにどのように変化するかを調べ、測定前に安定したプラズマ状態を達成することの重要性を強調しました。アルゴンガスの導入による影響、および小さな空気漏れの影響を慎重に分析しました。アルゴンガスを用いたアクチノメトリー校正に関する推奨事項を示し、最適なプラズマ再現性を得るためには良好な真空状態を維持することが重要であることを強調しました。また、酸素原子の表面損失のメカニズムについても考察し、実験結果によりよく合致する新しいモデルを提案しました。さらに、壁面温度の変化がこれらのプロセスに及ぼす影響についても検討しました。
2. 中圧におけるO2-Ar混合ガス中のRFCCPの実験的研究：本研究では、異なる電力、圧力、およびガス混合物の影響に焦点を当てた。プラズマインピーダンス（OctivおよびTektronixプローブを使用）、電子密度（ヘアピンプローブを使用）、表面イオンフラックス（静電プローブアレイを使用）など、さまざまな電気的および中性特性を測定した。
さらに、CW CRDS測定により酸素原子密度とガス温度を測定した。最後に、変調CRDS測定を用いて、残光中のO原子損失率、負イオン密度、オゾン濃度を求めた。圧力、電力、ガス混合物の影響について考察し、荷電粒子と中性粒子の両方について、このようなプラズマ内で発生するメカニズムを明らかにした。特に、電力によるモード遷移が観測され、議論された。同時に、O原子の表面損失率と境界へのイオン衝撃との関連性が明らかになった。
3. 中間圧力におけるRF CCPのモデリング：本論文では、粒子セル法（PIC）と流体シミュレーションの両方を用いたモデリングの取り組みについても紹介する。本研究では、PIC（粒子セル法）モデルのコストと限界について議論し、流体モデルと比較するとともに、流体モデルが無効となる条件を説明する。最終的に、本論文では、異なる圧力範囲に適したモデリング手法を選択するための提案を行い、PICと流体シミュレーションの両方の長所を組み合わせたハイブリッドモデルを提案する。
科学研究で使用された製品ソリューションについて、さらに詳しくご覧ください。
Synertia® RFジェネレータ
これまでにない電力供給制御を可能にする
次世代マイクロチップ向けプラズマプロセスツール。
でComet Plasma Control Technologies当社は、製品を強化し、科学的発見に貢献するパートナーシップを通じてイノベーションを推進することに尽力しています。研究機関との連携により、プラズマ技術の未来を形作り、製造業から医療まで幅広い産業に影響を与える知識の発展に貢献しています。好奇心旺盛な方は、ぜひご連絡ください。
最新の3つのニュース
2026年11月10日～13日、ドイツ・ミュンヘンにて開催
2026年10月21日
訪問Comet ホールB1のブース番号572にてSEMICON ヨーロッパで体験するSynertia® RFマッチボックス、 Comet半導体製造におけるRF電力供給を最適化し、性能を向上させるために設計された、高度なRFマッチングソリューション。
続きを読むIFF賞： Comet 最終候補者にノミネートされました
2026年10月7日
Comet は、Prix IFF 2026–2027 – Innovation Fribourg Freiburgの企業部門の最終候補に選出されました。
続きを読む