Synertia ® RF電力供給プラットフォーム
Synertia ®
RFマッチングネットワーク
速度、正確性、精密性、再現性を追求して設計されています。
データ収集と実用的な洞察を得るためのオンボード分析の強力な機能を備え、 Synertia® RFMは、これまで不可能だったより複雑なプラズマアプリケーションを可能にする。これは、RF制御の新たなレベルである。
特徴
- チューニング速度とプロセス制御を向上させるための高度なチューニングアルゴリズム
- 高度な顧客アクセス計測データ
- 高忠実度・高感度の広帯域V/Iセンサー
- 追従チューニング RF基本周波数を±10%まで変化させた場合
- 信号処理およびデータ収集のための強力なプログラマブルロジック
- オンボード監視および診断機能
- 標準およびカスタマイズされたコンデンサ設計
- 直感的なグラフィカルユーザーインターフェース
メリット
- 超高速、一貫性、安定したプラズマ制御
- 完全デジタル化されカスタマイズ可能な制御により、優れたプロセス制御と再現性を実現
- リアルタイム信号処理とデータ収集による継続的なプロセス改善
- 迅速なイベント分析と事後分析によってプロセス開発を加速する
RFMの改善チューニング時間
< 500 msec depending on pre-set points
技術データ
| マッチタイプ | 単一周波数 デュアル周波数 |
| 利用可能なマッチングトポロジー | L、T、およびPiが一致する |
| 周波数範囲 | 400kHz～60MHz |
| 出力V/l | 最大電流（ピーク時約150A） 最大電圧（10 kVピーク） |
| 入力電力 | 最大15kW |
| 通信インターフェース | EtherCAT® 、 RS232アナログ、 Ethernet |
| 脈動 | シングルレベル、デュアルレベル、マルチレベル |
| パルス状態時間 | 5マイクロ秒から1秒 |
| パルス機能 | 0.5 Hz ～ 100 kHz |
| 外部パルス同期 | TTL |
| 高度な機能 | ±10%の周波数範囲 |
| オプションのセンサー | Vpp、Vdcなど |
| 入力電圧 | 24 VDC |
| チューニング時間 | < 500 msec depending on pre-set points |
| チューニング範囲 | 単位周波数に依存します そしてチューニングコイル インストール済み |
チラシ
Comet 製品は米国およびその他の国で特許によって保護されている場合があります。詳細については、バーチャル特許表示ご覧ください。
Synertia® プラットフォームチラシ
強力な相乗効果を発見してくださいSynertia RFMとSynertia RFG Comet統合されたRF電力供給プラットフォーム。
RFパワーカタログ
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