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Synertia® RF電力供給プラットフォーム

真空キャパシタ

Synertia®は、Cometの統合型RF電力供給プラットフォームであり、次世代マイクロチップ向けプラズマプロセスツールに求められる、これまでにない電力供給制御を実現します。Synertia®は、最高速度レベルでプラズマ状態の強力な指示と制御を確実にするRFパワーシステムです。マルチレイヤーメモリや原子レベルのプラズマプロセスの複雑さを管理できるシステムです。

公式代理店の株式会社コムクラフトのブース（#XXXXX）にお立ち寄りいただき、Cometの 真空キャパシタ製品群をご覧ください。

株式会社コムクラフトのブースでは、Cometの専門スタッフが、最新の真空キャパシタのイノベーションについてのご説明や、お客様のニーズに合わせたカスタムソリューションのご提案を行います。