私たちが情熱を注ぐのはRF技術です。
Plasma Control Technologiesは、高品質な真空コンデンサ、高性能なRFジェネレータ、およびインピーダンスマッチングネットワークを開発・製造しています。これらの専門性の高い製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池パネル、産業用コーティングなどの製造における薄膜成膜やエッチングといったプラズマプロセスの精密制御に使用されています。
Synertia® RF電力供給プラットフォーム
Synertia®は、これまでにない電力制御を実現するCometの新しい統合型RF電力供給プラットフォームです。次世代の多層メモリや原子レベルのプラズマプロセスにおける複雑な制御を可能にするシステムです。
標準およびカスタムRFマッチングネットワーク
Cometは、業界をリードするマッチングネットワークソリューションを幅広く提供しています。RF回路のモデリングと設計に関する深いノウハウと、優れたComet製真空コンデンサの組み合わせにより、お客様のツールの最高性能、再現性、信頼性を保証します。
RFジェネレータ
13 MHz〜60 MHzの周波数帯、600 W〜6 kWの出力をカバーし、パルス機能と精密な電力制御を備えた高機能RFジェネレータ。
真空キャパシタ
市場で最も幅広い静電容量、電力、電圧、駆動システムのラインナップ
