RF技術は私たちの情熱です。
Comet Plasma Control Technologies 高品質の真空コンデンサ、高性能RFジェネレータ、そしてインピーダンスマッチングネットワークを開発、製造しています。これらの特殊な製品は、半導体、フラット パネル ディスプレイ、ソーラー パネル、工業用コーティングなどの薄膜成膜やエッチングなどのプラズマプロセスの正確な制御に使用されます。
Synertia ® RF電力供給プラットフォーム
Synertia® はCometの新しい統合RF電力供給プラットフォーム これまでにない電力制御を可能にするシステム。多層構造の次世代メモリや原子スケールのプラズマプロセスといった複雑なプロセスを管理できるシステム。
標準仕様およびカスタム仕様RFマッチングネットワーク
Comet 業界をリードするマッチングネットワークソリューションを幅広く提供しています。RF回路モデリングと設計における深いノウハウと卓越した技術力を兼ね備えています。 Comet 真空コンデンサは、お客様のツールの最高の性能、再現性、信頼性を保証します。
RFジェネレータ
13MHzから60MHzまでの周波数範囲と600Wから6kWまでの電力範囲に対応し、パルス制御と高精度な電力制御機能を備えたフル機能RF発生器。
真空キャパシタ
市場で最も幅広い容量、電力、電圧、駆動システムを取り揃えています。
