高精度動作に最適なソリューション
最高のコストパフォーマンスを実現した、真空キャパシタ向けの最新統合型ドライブ技術。
電動真空コンデンサは、高精度な動作に最適なソリューションです。最高水準の精度を保証するだけでなく、取り付けが簡単なサブシステムにより調達業務を簡素化します。Universal Integrated Driveシステムのコアコンポーネントは、絶縁カバー、カップリング、ステッピングモータを取り付けたCometの可変真空キャパシタです。耐久性に優れたバックラッシュレスのCometカップリングにより、キャパシタと駆動システムが接続されます。
一体型フランジにより、システムへの容易な取り付けが可能です。キャパシタとフランジ間の適切な高電圧絶縁も備えています。
ハイレベルコマンド
ハイレベルコマンド（Universal IDの場合はRS232、RS485）を使用して、PCまたはコントロールボードからモジュールを制御できます。通信プロトコルにより、以下のコマンドを実行できます。
- フルステップ、マイクロステップ、または静電容量位置の設定による精密なモーションコントロール
- 許容範囲内でのアイドル・駆動電流、速度、スレーブアドレスの設定
- 実際のフルステップ、マイクロステップ、および静電容量位置の読み出し
- 静電容量特性曲線（Cカーブ）の読み出し
- ファームウェアバージョン、シリアル番号、およびすべての顧客設定リミットと工場設定リミットなど、さまざまなパラメータの読み出し
- 包括的なRX応答（ACK、NAK）：
– すべてのコマンドに対するACK
– 「移動開始」および「移動完了」に対するACK
– NAK（チェックサムエラー、インデックス範囲外など） - ボーレートは9.600〜115.200 Bdの範囲で設定可能
- 工場設定リミット内でユーザー設定リミット（CminおよびCmax）を設定
- ユーザーが選択可能なポジションを最大10個まで保存
キャパシタのチューニング
ステッピングモータを使用することで、ユーザーが選択したリミットの間で可変キャパシタの静電容量を精密にチューニングできます。
内蔵型ドライブ真空キャパシタ
Universal ID
統合型ドライブソリューション
特長
新しい統合型ドライブ（ID-400およびID-1200）向けの1つのドライバ基板
CometのRS232およびRS485通信プロトコルに対応
9.600〜115.200 Bdの間で柔軟なボーレート設定が可能
RS485モードで最大32台のモジュールを接続可能
フルステップ、マイクロステップ、および静電容量位置の読み出し
高分解能の静電容量テーブル（ご要望に応じて対応可能）
技術仕様
| 静電容量Cmaxの範囲 | 100 - 2000 pF |
Upt範囲 | 3 - 25 kV |
13.56 MHzにおける最大電流IRMS | 72 - 170 ARMS |
外径 | 55 - 117 mm |
高さ | 230 - 280 mm |
冷却方式 | 自然対流 |
RoHS指令適合 | はい |
電源電圧 | +24 VDC |
| 供給電流 | Ip < 1.1 A (ID-400) Ip < 2.8 A (ID-1200) |
| フルステップ角 | 1.8 ° |
モータ速度 | 最大600 rpm |
| マイクロステップ駆動 | 16マイクロステップ |
| 動作温度 | +5 – +50 °C |
| 利用可能なインターフェース | RS232、RS485 |
| アドレス範囲 (RS485) | 0 x 21 – 0 x 40 |
| ボーレート | 9.600 – 115.200 Bd |
用途
- 半導体
- フラットパネルディスプレイ
- ソーラー
- MEMS