バッテリー

PECVDプロセスにおけるRFパワーは、次世代電池の実現を可能にします。薄膜電池は、スパッタリングや熱蒸着など、半導体と同じ技術を用いて製造されることがよくあります。材料は1層ずつ成膜され、電池のコンポーネントが段階的に組み立てられます。