バッテリー

PECVDプロセスにおけるRF電力は、次世代バッテリーの実現を可能にする。薄膜バッテリーは、スパッタリングや熱蒸着など、半導体製造と同じ技術を用いて製造されることが多い。材料は一層ずつ堆積され、バッテリー部品は一つずつ組み立てられる。