特長
- 一般的な半導体用途向けに設計されています
- 高出力動作に最適化されたベローズ設計
- 高速同調を実現する最適化された駆動システム
- 小型でありながら高電流に対応可能
- 均一なサイズにより互換性を提供
- 標準化された42 mm角型取付フランジ
- モータ駆動式および非駆動式の真空キャパシタを用意
- 一部の型式で適用可能なUltra Life機能
技術仕様
| 静電容量Cmaxの範囲 | 30 - 2000 pF |
| Upt範囲 | 3 - 37 kV |
13.56 MHzにおける最大電流IRMS | 16 - 107 ARMS |
| インダクタンス | ≤ 11 nH |
| 外径 | 55、64、75 mm |
| 高さ | 128 - 141 mm |
| 冷却方式 | 自然対流 |
| RoHS指令適合 | 対応可能 |