動的負荷に対して最高の安定性を発揮するように設計されています。

cito Plusは、優れたパルス品質、安定性、電力測定精度を提供し、半導体の成膜およびエッチング用途や非半導体用途に最適な選択肢となります。

  • 高い稼働時間 - スループットの向上とランニングコストの削減に注力
  • 精度、再現性、安定性の価値 - プロセスの要件を満たす
  • より高い電力効率 - 経済性の向上と環境に配慮したフットプリント

特長

  • 対称的なオープンループ応答
  • 高精度な電力制御
  • 最大100 kHzのパルス
  • 可変位相遅延付きCEX
  • CEX出力周波数デバイダ
  • SEMI準拠

メリット

  • 予測可能なプラズマ挙動
  • 容易なシステム統合
  • 再現性のあるウェハー結果
  • あらゆるケーブル長で安定
  • あらゆる負荷に対して優れたパルス波形
  • ほとんどの製造装置との世界的互換性

3:1 VSWRへの負荷電力

対称的なオープンループ応答

アップグレードおよびリプレイスにはcito Plusをご検討ください

  • 現在お使いの装置よりも優れた安定性
  • バイアス用およびソース用として使用可能

プラグ&プレイシステムが提供するもの

  • 利用可能なインターフェース:アナログ、RS-232C、Ethernet、Profibus、マッチングネットワーク制御
  • 同軸ケーブル非依存 - 長さの調整不要 - 同じケーブルをそのまま使用可能
  • 空冷式、冷却配管不要
  • 簡単で使いやすいフロントパネルコントロール、またはパッシブパネル
  • 230 V AC(公称、単相)の広範囲なAC入力をカバー

フライヤー

廃水浄化に向けたシングルフィラメントプラズマジェットの開発と最適化

ブカレスト大学は、廃水処理に向けたシングルワイヤプラズマジェットの開発および最適化方法について研究を行いました。このプロセスにはcito Plusジェネレータが使用されました。

Synertia RFジェネレータ

cito

最適な性能の組み合わせ