動荷重に対する最高の安定性を実現するように設計されています。

cito Plus は優れたパルス品質、安定性、電力測定精度を備えており、プラズマ成膜やエッチング用途だけでなく、非半導体用途にも最適です。

  • 高い稼働時間 - 焦点を当てるスループット 運用コストの削減
  • 精度、再現性、安定性を重視し、お客様のプロセス要件を満たします。
  • 電力効率の向上 - 経済性と環境負荷の低減

特徴

  • 対称的な開ループ応答
  • 高精度電力制御
  • 最大100kHzのパルス
  • CEX 可変位相遅延付き
  • CEX 出力周波数分周器
  • SEMI 準拠

メリット

  • 予測可能なプラズマ挙動
  • 容易なシステム統合
  • 再現可能なウェハー結果
  • ケーブルの長さに関わらず安定して動作します
  • 優れたパルス波形 どんな負荷にも
  • 世界中のほとんどの生産設備との互換性

3:1 VSWRに電力を負荷する

対称的な開ループ応答

考慮するcito さらに、アップグレードや交換にも対応します。

  • 現状のツールよりも安定性が高い
  • 使用できるバイアス用およびソース用

プラグアンドプレイシステムでは、

  • 利用可能なインターフェース: アナログ、 RS-232C 、 Ethernet 、 Profibusマッチングネットワーク制御
  • 同軸ケーブルは長さの影響を受けにくいため、長さ調整は不要です。同じケーブルをそのまま使用できます。
  • 空冷式、冷却配管なし
  • 使いやすいフロントパネルコントロールまたはパッシブパネル
  • AC入力範囲は広く、定格230V AC、単相に対応しています。

チラシ

廃水除染用単フィラメントプラズマジェットの開発と最適化

ブカレスト大学は、廃水処理用に単線プラズマジェットを開発・最適化する方法を研究した。このプロセスでは、 cito さらに、発電機も関与していました。

Synertia RFジェネレータ

cito

最適な性能の組み合わせ