プロセス再現性、歩留まり、スループットの向上
当社のRF設計エンジニアは、お客様の仕様と市場投入までの期間の要求を満たす、あるいはそれを超える業界最高水準のインピーダンスマッチングネットワークのソリューションを幅広く提供します。
CometのRFインピーダンスマッチングネットワークは、他社の同等製品を常に凌駕しています。センサーと制御の組み合わせにより、業界最速クラスのチューニングスピードを誇るインピーダンスマッチングネットワークを実現しています。
他のインピーダンスマッチングネットワークサプライヤーとは異なり、Cometは多彩な可変真空キャパシタのラインナップを取り揃えており、それらの主要部品を設計する専門家を有しています。2つのチームが密接に連携することで、Cometは他社には真似のできない製品を生み出す独自の優位性を持っています。
新製品!
Synertia®
マッチングネットワーク
スピード、精度、正確性、再現性を追求した設計。
Synertia® RFMは、Synertia® RFGと強力に連携して動作します。インピーダンスマッチングネットワーク内の高精度なセンサーと高度なチューニングアルゴリズムにより、一貫して安定したプラズマプロセスを実現します。
Comet整合器製品ラインナップ
3タイプのお客様とそれぞれの個別要件に合わせて特別に設計されています。
Cometの製品は、米国およびその他の国における特許によって保護されている場合があります。詳細については、バーチャル特許表示をご覧ください。