Synertia® RFジェネレータ
ユーザーは、再現性、マルチレベルパルス、高速通信をはじめとするSynertia® RFGの独自のパフォーマンスアクセラレータを完全に制御できます。この優れた応答性により、実用的なインサイトが得られ、これまで不可能だったより複雑なプラズマアプリケーションが可能になり、高度な制御の新たな次元が切り拓かれます。
Comet RFジェネレータ 製品ラインナップ
13 - 60
MHz 周波数
0.6 - 6
kW 電力
Cometは、パルス機能と精密な電力制御を備えたフル機能のRFジェネレータを提供しています。
- 高効率設計
- 最新のLDMOSテクノロジー
- 最大100 kHzのパルス
- アクティブまたはパッシブフロントパネル
- アナログおよびシリアル通信のオプション
- 入力電圧 200 VAC ～ 480 VAC
- 位相同期付きCEX送受信機
cito Plus
プラズマ成膜およびエッチングアプリケーションに最適な選択肢
cito
プロセス制御のための最も汎用性の高いオプション
最適な性能の組み合わせ
マッチボックスとジェネレータを組み合わせたRF電力供給システム
Cometの製品は、米国およびその他の国における特許によって保護されている場合があります。詳細については、バーチャル特許表示をご覧ください。
