Synertia ® RFジェネレータ
ユーザーは独自のパフォーマンスアクセラレーターを完全に制御しますSynertia® 再現性、マルチレベルパルス、高速通信を含むRFG。この応答性により、実用的な洞察が得られ、これまでに不可能だったより複雑なプラズマアプリケーション、つまり新しいレベルの深い制御が可能になります。
Comet RFジェネレータ 製品ラインナップ
13 - 60
MHz周波数
0.6 - 6
kW電力
Comet フル機能を提供しますRFジェネレータ パルス制御と精密な電力制御により。
- 非常に効率的な設計
- 最新のLDMOS技術
- 最大100kHzのパルス
- アクティブまたはパッシブのフロントパネル
- アナログおよびシリアル通信オプション
- 入力電圧：200VAC～480VAC
- CEX 位相同期機能を備えた送信機／受信機
cito プラス
プラズマに最適な選択肢成膜 そしてエッチング アプリケーション
cito
プロセス制御において最も汎用性の高い選択肢です。
最適な性能の組み合わせ
RF電力供給システムマッチとジェネレーターを組み合わせる
Comet 製品は米国およびその他の国で特許によって保護されている場合があります。詳細については、バーチャル特許表示ご覧ください。
