最も要求の厳しい半導体および薄膜アプリケーション向けに設計されています。

  • スピード、精度、正確性、再現性を追求して設計されています。
  • 自己感知パルス（外部信号不要）
  • バックラッシュを最小限に抑えた高度に最適化された駆動システムにより、優れたプロセスを実現します。プロセス再現性
  • 周波数チューニング サポートされている
  • オプションのVIセンサー 

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