最も厳格な半導体および薄膜アプリケーション向けに設計されています

  • スピード、正確性、高精度、再現性を追求して構築されています
  • セルフセンシングパルシング（外部信号不要）
  • バックラッシュを最小限に抑えた高度に最適化された駆動システムにより、優れたプロセス間でのプロセス再現性を実現します
  • 周波数チューニング対応
  • オプションのVIセンサ 

対象市場セグメント

お客様の設計により制作

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