特長
- さまざまな半導体アプリケーション向けに設計
- 実績があり広く普及している設計
- コンパクトでコスト効率の高い設計
- CmaxからCminまで最大175:1の広いチューニング範囲
- 統合フランジおよびフランジマウント仕様を用意
- 低トルクにより高速なチューニング速度を実現
技術仕様
| 静電容量Cmaxの範囲 | 170 - 1400 pF |
| Upt範囲 | 3 - 15 kV |
13.56 MHzにおける最大電流IRMS | 55 - 64 ARMS |
| インダクタンス | ≤ 11 nH |
| 外径 | 55 mm |
| 高さ | 103 - 150 mm |
| 冷却方式 | 自然対流 |
| RoHS指令適合 | 対応可能 |