特徴
- さまざまな半導体アプリケーション向けに設計されています
- 人気があり広く使われている
- コンパクトでコスト効率の良いデザイン
- 広いチューニング範囲 CmaxからCminまで最大175:1
- 一体型フランジとフランジマウント付きで利用可能
- 低トルクで高チューニング速度
アプリケーション
技術仕様
| 静電容量C最大範囲 | 170～1400 pF |
| U pt範囲 | 3～15kV |
13.56 MHzにおける最大電流I RMS | 55～64A RMS |
| インダクタンス | ≤ 11 nH |
| 直径 | 55mm |
| 身長 | 103 - 150 mm |
| 冷却システム | 対流 |
| RoHS指令に準拠 | 利用可能 |