柔軟性とコストパフォーマンスを両立
- 非クリティカルな半導体、薄膜アプリケーションおよび産業用途に適用可能
- 広い同調範囲を実現する調整可能なタップ設定
- コンパクト設計
- Cometのcito Plus RFジェネレータに対応
- 優れたコストパフォーマンス
対象市場セグメント
- ソーラー
- R&D
- 半導体設計・開発
- 大学 - 産業用成膜
電力 | 周波数 | 冷却方式 | RF出力 | ||
| W | 13 MHz | 27 MHz | 40 MHz | ||
| 1000 | X | X | X | 空冷 | 7/16 DIN、MC10、マウントバー |
| 2000 | X | 空冷 | MC10、マウントバー | ||
| 3000 | X | 空冷 | MC10、マウントバー | ||
| 5000 | X | 水冷 | MC10、マウントバー | ||
最適な性能の組み合わせ
AGSインピーダンスマッチングネットワークとComet cito Plus RFジェネレータを組み合わせて、RFデリバリーシステムを構築してください。
競争力のある価格で、高いパフォーマンスと信頼性、そして精密なプラズマプロセスの制御を提供します。
フライヤー
