特長
- 20 kWを超える用途向けに設計
- 高電圧および高電流に対応
- 2 MHz〜40 MHzの一般的な周波数範囲
- 水冷式も選択可能
- 標準化された6穴取り付けフランジ
- モータ駆動式および非駆動式の真空キャパシタを用意
- Ultra Life機能を適用可能
技術仕様
| 静電容量Cmaxの範囲 | 250 - 3000 pF |
| Upt範囲 | 8 - 25 kV |
13.56 MHzにおける最大電流IRMS | 123 - 182 ARMS |
| インダクタンス | ≤ 11 nH |
| 外径 | 117 mm |
| 高さ | 152 - 171 mm |
| 冷却方式 | 自然冷却、水冷、ハイブリッド |
| RoHS指令適合 | 対応可能 |