特長
- 一般的なフラットパネルおよびハイパワー半導体（LCD、FPD）向けに設計
- 低インダクタンス
- 高電流容量
- 水冷式も選択可能
- 堅牢な構造
- 標準化された6穴取り付けフランジ
- モータ駆動式および非駆動式の真空キャパシタを用意
- Ultra Life機能を適用可能
技術仕様
| 静電容量Cmaxの範囲 | 100 - 2000 pF |
| Upt範囲 | 5 - 15 kV |
13.56 MHzにおける最大電流IRMS | 45 - 136 ARMS |
| インダクタンス | ≤ 7 nH |
| 外径 | 88 mm |
| 高さ | 114 - 189 mm |
| 冷却方式 | 自然冷却、水冷 |
| RoHS指令適合 | 対応可能 |