Comet フランス映画賞（Prix IFF）にノミネート
とSynertia® RFG

Comet は、Prix IFF 2026–2027 – Innovation Fribourg Freiburg のエンタープライズ部門のファイナリストに選ばれました。 Synertia® フリブール州における高度な専門知識に基づいて開発された革新的な技術として認められており、半導体製造におけるますます厳しくなる要求に応えるものである。

私たちの推薦はSynertia® RFGに焦点を当てています。 CometのRFジェネレータ、およびより広範なSynertia® RF電力供給プラットフォーム。プラットフォームを組み合わせると、 RFジェネレータ さらに、高速通信、デジタル制御、計測、データ分析を備えたネットワークを組み合わせることで、新たなレベルの協調型プラズマ制御を実現する。

半導体製造プロセスがますます複雑な構造とプロセスレシピへと移行するにつれ、RF電力供給は、正確で再現性の高い電力供給だけでなく、高度なプラズマアプリケーションに必要な柔軟性と応答性も提供する必要がある。

Synertia® この問題に対処するために、 RFジェネレータ マッチングネットワーク。高速通信により、両サブシステムは変化するプロセス条件に同時に対応し、プロセス全体を通してRF電力供給を最適化します。このプラットフォームは、連続波、パルス、およびマルチレベルパルス動作をサポートし、個々のプロセス遷移において精密な最適化を実現します。この協調的なアーキテクチャにより、個々のサブシステムの能力を超える機能が実現されます。

• 個別に設定可能なマルチレベルパルス周波数チューニング レベルごと

• 正確な脈拍管理を含むパルス幅デューティサイクルと立ち上がり/立ち下がり勾配

• 自動周波数チューニング(AFT) ±10%公称周波数 変化するプラズマ条件に迅速に適応する

• インピーダンス変化への迅速な対応と反射電力の低減（以下を含む）マルチレベルパルス

• アーク検出と閉ループ電力制御を最小限にするように設計された、複数のアーク管理検出方法ウェハー スクラップ
• 電力精度は電力範囲全体で設定値の±1%
• 高度な製造アプリケーション向けのデジタル計測とシステム制御
• 高速通信と幅広いインターフェースOEM -ツール統合

重要な差別化要因はSynertia® 特筆すべきは、RF電力供給機能が、広範な測定およびデータ機能と組み合わされている点です。

このプラットフォームは、多数のプロセスパラメータを捕捉・分析することで、エンジニアが事象を調査し、プロセス挙動を特定し、レシピを最適化できるようにします。統合された計測スタジオは、高度なオシロスコープ、周波数解析、スミスチャート、イベントベースのデータロギング機能を提供し、ユーザーは重要なRFパラメータとプロセスパラメータに直接アクセスできます。

このデジタルレイヤーは、トラブルシューティングとプロセス開発のサイクルを短縮するのに役立ちます。測定と分析を別々の活動として扱うのではなく、 Synertia® それらをRF電力供給環境に直接統合します。

半導体メーカーにとって究極のメリットは、より高度なプロセス制御です。高速応答、正確な電力供給、最適化されたマッチング、高度なパルス制御、リアルタイム測定はすべて、安定した再現性のあるプラズマ状態に貢献します。これにより、改善が期待できます。ウェハーレベルの均一性を向上させ、プロセス最適化を加速し、ダウンタイムを削減し、歩留まりを向上させます。

高度なアプリケーションの場合、 Synertia® また、より高度な制御戦略も可能になる。マルチレベルパルス例えば、単一のプロセスシーケンス内で異なるRF条件を定義することを可能にする一方、Auto周波数チューニング プロセス条件の変化に応じて効率的な電力伝送を維持するのに役立ちます。これらの機能は、プラットフォームのデータ機能と組み合わせることで、エンジニアが高度なプラズマプロセスを開発、理解、最適化するためのより多くのツールを提供します。

Synertia® 重要な一歩を表しているComet個々のRFコンポーネントから統合型RF電力供給ソリューションへの進化。 Synertia® 、 Comet RF、ソフトウェア、システムに関する専門知識を組み合わせた専任チームを構築しました。その結果は単に新しいRFジェネレータしかし、RF電力生成、マッチング、測定、通信、デジタル制御が連携して動作するプラットフォームである。

この技術は以下によってサポートされていますComet半導体開発、テスト、認証に特化したインフラストラクチャ。これには、プロトタイピング、インザループテスト、データ駆動型設計検証のための高出力RFスマートラボが含まれる。

Prix​​ IFF – Innovation Fribourg Freiburgは、フリブール州の革新的な企業やプロジェクトを表彰する賞です。 Comet最終候補に選ばれたことは、その技術とそれを支える人々が認められたことを意味します。 Synertia® 。

授賞式は2026年11月11日にフリブールで開催され、2026年度国際映画祭賞の受賞者が発表される。