CometがSynertia® RFGでPrix IFFにノミネートされました

Cometは、Prix IFF 2026～2027（Innovation Fribourg Freiburg）の企業部門ファイナリストに選出されました。フリブール州における高度な専門知識を活用して開発され、ますます厳しくなる半導体製造の要求に応えるイノベーションとして、Synertia®が認められたことを誇りに思います。

今回のノミネートは、CometのRFジェネレータであるSynertia® RFGおよび、それを包含するSynertia® RF電力供給プラットフォームに焦点を当てています。このプラットフォームは、RFジェネレータとマッチングネットワークを高速通信、デジタル制御、計測、データ分析とともに統合し、これまでにない高度な協調プラズマ制御を実現します。

半導体プロセスがますます複雑な構造やプロセスレシピへと向かう中、RF電力供給には、正確で再現性の高い電力供給だけでなく、先端プラズマアプリケーションに必要な柔軟性と応答性が求められています。

Synertia®は、RFジェネレータとマッチングネットワークの緊密な連携により、この課題に対応します。高速通信により、両方のサブシステムが変化するプロセス条件に連動して応答し、プロセス全体を通じてRF電力供給を最適化します。本プラットフォームは、連続波、パルス、マルチレベルパルス動作をサポートし、個々のプロセス遷移において精密な最適化を行います。この協調アーキテクチャにより、個々のサブシステムの能力を超える機能が実現します。

• レベルごとに独立して周波数チューニングを設定可能なマルチレベルパルス

• パルス幅、デューティ比、立ち上がり/立ち下がり勾配を含む精密なパルス管理

• 公称周波数の±10%の範囲での自動周波数チューニング（AFT）により、変動するプラズマ条件に迅速に適応

• インピーダンスの変化に対する迅速な応答、およびマルチレベルパルス中を含む反射電力の低減

• 複数のアーク管理検知方式。アーク検知機能と閉ループ電力制御により、ウェハーのスクラップを最小限に抑えるよう設計されています。
• 電力範囲全体を通して設定値の±1%の電力精度を実現
• 高度な製造アプリケーション向けのデジタル計測とシステム制御
• OEMツール統合に向けた高速通信と幅広いインターフェース

Synertia®の大きな差別化要因は、RFパワー供給に、充実した測定およびデータ機能を組み合わせている点にあります。

このプラットフォームは多数のプロセスパラメータを収集・分析し、エンジニアが事象の調査、プロセス挙動の特定、レシピの最適化を行えるようにします。統合されたMeasurement Studioは、高度なオシロスコープ、周波数解析、スミスチャート、イベントベースのデータロギング機能を提供し、重要なRFおよびプロセスパラメータへの直接アクセスを可能にします。

このデジタルレイヤーにより、トラブルシューティングやプロセス開発のサイクル短縮が図れます。測定と分析を別個の作業として扱うのではなく、Synertia®はそれらをRFパワー供給環境に直接統合しています。

半導体メーカーにとっての最大のメリットは、より深いプロセス制御にあります。応答の高速化、正確な電力供給、マッチングの最適化、高度なパルス制御、リアルタイム測定が一体となり、安定した再現性の高いプラズマ状態に寄与します。これにより、ウェハーレベルの均一性向上、プロセス最適化の加速、ダウンタイムの削減、歩留まりの向上が可能になります。

高度なアプリケーションにおいて、Synertia®はさらに洗練された制御戦略も可能にします。例えば、マルチレベルパルスでは単一のプロセスシーケンス内で異なるRF条件を定義でき、自動周波数チューニング（Auto Frequency Tuning）はプロセス条件の変化に応じた効率的な電力伝送の維持を支援します。プラットフォームのデータ機能と相まって、これらの機能は、要求の厳しいプラズマプロセスの開発、理解、最適化のためのより強力なツールをエンジニアに提供します。

Synertia®は、個別のRFコンポーネントの提供から統合型のRFパワー供給ソリューションへの、Cometの進化における重要なマイルストーンです。Synertia®の開発にあたり、CometはRF、ソフトウェア、システムの専門知識を融合した専任チームを立ち上げました。その結果生まれたのは単なる新しいRFジェネレータではなく、RF電力生成、マッチング、測定、通信、デジタル制御が一体となって機能するプラットフォームです。

本技術は、プロトタイピング、インザループテスト、データ駆動型のデザイン検証を行う高出力RF smartLABsなど、Cometの半導体分野に特化した開発・テスト・適格性評価インフラストラクチャによって支えられています。

Prix IFF（Innovation Fribourg Freiburg）は、スイス・フリブール州の革新的な企業やプロジェクトを表彰する賞です。Cometがファイナリストに選出されたことは、Synertia®という技術とその開発に携わった人材が評価された証です。

授賞式は2026年11月11日にフリブールで開催され、その場でPrix IFF 2026の受賞者が発表されます。