Synertia®

超高速応答

CometのSynertia ^®プラットフォームは、プラズマプロセスをまったく新しいレベルでリアルタイムに把握することを可能にします。RFSynertia ^® RFG Synertia RFジェネレータ変化に対する比類のない応答時間を備えています。プラズマチャンバー高速データ取得と高速測定時間、低遅延デジタル信号処理を組み合わせることで、迅速な適応と制御およびプロセス歩留まりの向上を実現します。

半導体製造装置メーカーとエンドユーザーであるチップ製造顧客の両方にとって、重要な問題や課題がより迅速に解決されます。これにより、時間とコストの大幅な削減と、新製品の市場投入までの時間短縮が実現します。

安定性、信頼性、再現性に優れたプラズマ制御

Synertia^の高速応答時間により、急速に変化するプロセス条件下でも電力供給が安定します。さらに、ユーザーはデータの低遅延というメリットも享受できます。透過型 このツールは、設定可能な^EtherCAT®インターフェースのおかげで非常に高速であり、効率的なシステム統合も保証します。

高度な機能を統合

Synertia ^®は、チップメーカーが要求する幅広いアプリケーションに適しています。AFT アルゴリズムによりRFジェネレータはプラズマプロセスに迅速に適応でき、アーク管理は、ウェハー 損傷を軽減し、生産性を向上させます。さらに、統合された測定スタジオは実験機器のコストを削減し、高度なオシロスコープ機能などのアプリケーションにより、重要なプロセスパラメータに直接アクセスできます。  

共同最適化されたRF電源

RFシステムは、RF電源発生器と対応する整合回路が最適に同期し、リアルタイムで通信している場合にのみ、最適なパフォーマンスを発揮できます。 Synertia ^®の特長は、高度に相乗効果を発揮するRF電力供給サブシステムが原子スケールのプラズマプロセスを制御し、パフォーマンスを向上させることです。