Synertia®

超高速応答

CometのSynertia^®プラットフォームにより、これまでになくリアルタイムでプラズマプロセスを把握できるようになります。RFジェネレータ Synertia^® RFGは、プラズマチャンバー内の変化に対して比類のない応答速度を発揮します。高速データ収集、短縮された測定時間、低レイテンシーのデジタル信号処理の組み合わせにより、迅速な適応が可能となり、制御性と生産歩留まりが向上します。

半導体製造装置メーカーおよびチップ生産を行うエンドユーザーの双方において、重大な問題や課題がより迅速に解決されます。これにより、時間とコストの大幅な削減、ならびに新製品の市場投入までの期間短縮が実現します。

安定的、信頼性、再現性に優れたプラズマ制御

Synertia^®の迅速な応答時間により、めまぐるしく変化するプロセス条件下でも電力供給が安定します。さらに、設定可能なEtherCAT^®インターフェースを採用したことで、装置へのデータ転送における低レイテンシー化と超高速化を実現しており、システムのシームレスな統合も確実なものとなります。

先進機能を統合

Synertia^®は、チップメーカーから求められる幅広い用途に適合します。AFTアルゴリズムによりRFジェネレータがプラズマプロセスに素早く適応し、アークマネジメントによってウェハーの損傷を軽減し生産性を高めます。さらに、統合された測定スタジオによりラボ機器のコストを削減でき、高度なオシロスコープ機能などのアプリケーションを通じて重要なプロセスパラメータに直接アクセスできます。  

最適化されたRF電源

RFシステムが最適な性能を発揮できるのは、RFジェネレータと対応するマッチングネットワークが最適に同期し、リアルタイムで通信している場合のみです。それこそがSynertia^®の本質であり、高度に相乗効果を発揮するRF電力供給サブシステムが、原子レベルのプラズマプロセスを制御しパフォーマンスを加速させます。