Synertia® – 問題解決機能を標準装備

2023年7月6日

Synertia®は、マイクロチップの製造に欠かせない次世代マルチレイヤーメモリや原子レベルのプラズマプロセスの複雑な制御を可能にする、Cometの統合型RF電力供給プラットフォームです。

CometがSynertia®を開発したとき、それは単に新世代のRFジェネレータを構築することだけが目的ではありませんでした。それは、24時間365日のトラブルシューティング対応を含め、お客様のサポートに全力を尽くす、比類のない包括的な開発、テスト、および適格性確認インフラストラクチャを構築することでもありました。Synertia® RF電力供給プラットフォームが単なる製品をはるかに超越している理由については、以下をご覧ください。

Synertia®によるお客様第一の姿勢

ワールドワイドなチーム

高周波技術、組み込みソフトウェア、材料科学、デジタル化などの専門家が、Cometのお客様に対して、いつでも最高かつ迅速なR&Dサポートを24時間体制(必要に応じてオンサイトでも)で提供します。

モダンな環境

Cometの高出力RF smartLABは、プロトタイピング、HIL(ハードウェア・イン・ザ・ループ)テスト、および自動データ駆動型設計検証のための、世界的に相互接続されたラボ環境を形成しています。このモダンな環境により、新機能の適格性確認を最速で行うことができ、現場での問題の複製や分析を極めて迅速に行うことが可能になります。私たちのラボは半導体業界のニーズに完全に特化しているだけではありません。Synertia® RFジェネレータは、アーヘンの最新鋭のハイテク生産拠点で製造されています。

デジタルトールとプロセスチェーン

デジタル化されたプロセスにより、効率が向上し、グローバルなCometチームと世界中のお客様との協力体制が強化されます。これにより、完全なトレーサビリティと透明性を備えた、より複雑で持続可能なソリューションが可能になります。

先進のテクノロジー

Synertia® RF電力供給プラットフォームの信号処理およびデータストリーミング機能は、プロセスと歩留まりの最適化を新たな次元へと引き上げます。1000を超えるパラメータが監視および分析されます。さらに、Synertia® RF電力供給プラットフォームに組み込まれた高周波測定スタジオは、これまでの各RFラボで個別に必要とされていたRF測定器に取って代わります。

結論として

Synertia®とそのデータ駆動型機能によって可能になった新しいアプリケーションは、問題の早期特定と解決を助け、時間の節約、歩留まりの向上、ダウンタイムの削減、そしてプロセスの迅速な立ち上げに貢献します。

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製品情報

メリット

CometのRF電力供給プラットフォームであるSynertia®は、これまでにないリアルタイムのインサイトを提供します。時間の節約、歩留まりの向上、ダウンタイムの削減、そしてプラズマプロセスの安定性向上を実現します。

参考製品

Synertia® RFG 15/13

1.5 kW / 13.56 MHz

詳細

Synertia® RFG 25/13

2.5 kW / 13.56 MHz

詳細

Synertia® RFG 35/13

3.5 kW / 13.56 MHz

詳細

Synertia® RFG 50/13

5 kW / 13.56 MHz

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