2024年10月17日
Comet Plasma Control Technologiesは、60年以上にわたり真空キャパシタの設計に携わってきた実績があり、その豊富な専門知識と技術力を結集して、高性能な真空キャパシタに対するお客様のニーズにお応えします。
提供する主な性能パラメータとは
高周波エンジニアリングと製造技術における確固たる実績に加え、以下の主要な性能指標を備えていることから、Cometのキャパシタは最先端の半導体製造装置で選ばれ続けています。
静電容量
静電容量C範囲（pF）
電圧
3 - 100
ピーク試験電圧 Upt 範囲 (kV)
電力
最大電流 IRMS (13.56 MHz 帯域、
ARMS)
市場で最も幅広い容量、電力、電圧、駆動システムのラインナップを取り揃え、現在のトレンドと将来のニーズの両方に応えるソリューションを創造しています。
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