新たな性能要件により、イノベーションが不可欠となる

より小型のチップによる性能向上への需要が高まり、エッチング/成膜 チップメーカーにおけるプロセス改善につながり、より高速なプロセスと、より頻繁でより小さなステップの実現をもたらした。

15年前は、年間約100万サイクルが標準だった。現在では、3ヶ月で100万サイクル、あるいはそれ以下が基準となっている。走行速度も年々大幅に上昇しており、当初は₁₈₀ ～ _360rpmだったのが、現在では最大_1200rpmまで必要となる。

マッチングネットワークの速度とサイクル数に関する性能要件の増加、ひいては真空キャパシタ従来の真空キャパシタ これは主に、ベローズや駆動システムなどの可動部品の故障までの時間によって決まるが、大幅に減少した。

必要な速度とサイクル数の増加は、真空キャパシタの駆動システムのすべてのコンポーネントにとって大きな課題です。 また、ねじとナットの摩擦と摩耗により寿命が制限されます。潤滑剤に混ざった金属粒子の残留物はペースト状の混合物を形成し、トルクの増加、ひいては故障につながります。トルクの増加は、リードスクリューの詰まり、ひいては駆動システムの詰まりを引き起こす可能性もあります。

新技術の必要性は明らかだった。