なぜ新世代のプラズマ制御ツールが必要なのか？

RFジェネレータとRFマッチングネットワークプラズマを着火する そして、全体に均一性を生み出すための重要な構成要素です。ウェハー プラズマプロセスを利用する。プラズマの制御は、最先端のチップ製造を担う次世代の高性能ツールを実現する上で極めて重要なステップである。今日の高度な3D構造を構築するには、マイクロ秒単位でプラズマの挙動を制御し、プラズマ環境のあらゆる側面を最適化することで、アプリケーションエンジニアがプロセス設計に完全に集中できるようにするための、構成可能な高速RF電源システムが必要となる。

としてComet Plasma Control Technologies 私たちは最先端プロセスの要件を理解しており、革新的なプロセス技術を提供しています。プラズマチャンバー それはウェハー 将来のワークロードに対応できる処理ツール。半導体業界の新たな要求に応えるため、当社はSynertiaを導入しました。 CometのRF電力供給プラットフォームSynertia® RF パワー システムは、 RF マッチング ネットワークとRFジェネレータの相互作用を新たなレベルに引き上げます。デジタル制御技術、直感的な視覚化、構造化されたデータ整理により、プロセス内で実行可能な洞察が得られます。プラズマチャンバー まったく新しいレベルの制御を提供します。 Synertia® RF電力供給プラットフォームより多くの機能と柔軟性でエッチングおよび成膜プロセスのパフォーマンスを強化し、それによって次世代のより高性能なプロセスを可能にします。ウェハー 処理ツール。