なぜ新世代のプラズマ制御ツールが必要なのか

RFジェネレータおよびRFマッチングネットワークはプラズマを着火し、プラズマプロセスを使用してウェハー全体の均一性を生み出す重要なコンポーネントです。プラズマの制御は、最先端チップの製造を担う次世代の高性能ツールを実現するための重要なステップです。今日の高度な3D構造を構築するには、マイクロ秒単位でプラズマ挙動を制御し、プラズマ環境のあらゆる側面を最適化して、アプリケーションエンジニアがプロセス設計に完全に集中できるようにするための、設定可能な高速RF電力システムが必要です。

Comet Plasma Control Technologiesは、最先端プロセスの要件を熟知しており、プラズマチャンバーにおける革新的なプロセス技術を提供することで、ウェハー処理ツールを将来のワークロードに対応させます。半導体業界の新たな要求に応えるため、当社はCometのRF電力プラットフォームであるSynertia®を導入しました。Synertia® RFパワーシステムは、RFマッチングネットワークとRFジェネレータの連携を新たなレベルへと引き上げます。デジタル制御技術、直感的なビジュアライゼーション、および十分に構造化されたデータ管理により、プラズマチャンバー内で進行しているプロセスに関する実用的なインサイトが得られ、全く新しいレベルの制御が可能になります。Synertia® RF電力プラットフォームは、機能性と柔軟性を高めることでエッチングおよび成膜プロセスのパフォーマンスを向上させ、それにより次世代の高性能なウェハー処理ツールを実現します。