Synertia®

Cometの統合型RF電力供給プラットフォーム「Synertia®」は、次世代マイクロチップ向けプラズマプロセスツールに求められる、 かつてない電力供給制御を実現します。Synertia®は、プラズマ状態の強力な指示と制御を最高速レベルで確実に行うRF電力システムです。 多層メモリや原子レベルのプラズマプロセスの複雑さを管理することを可能にします。

半導体ファブは、最先端技術製造の本拠地です。 高度なマイクロチップの製造に不可欠なプラズマプロセスには、超高速かつリアルタイムのプラズマ制御が求められます。 信頼性、再現性、およびウェハー収率を向上させるために、プラズマ挙動や重要なプロセスパラメータを制御する構成可能な高速RF電力システムが必要です。

Synertia® RF電力供給プラットフォームは、より高性能な次世代ウェハー処理ツールの実現を可能にし、 より多くの機能と柔軟性によってエッチングおよび成膜プロセスのパフォーマンスを向上させます。これは、RFジェネレータとRFマッチングネットワークの相互作用を新たなレベルへと引き上げます。デジタル制御技術、直感的な可視化、そしてよく整理されたデータ構成により、プラズマプロセスに関する実用的なインサイトを提供します。