Synertia®

Synertia®、 Cometの統合型RF電力供給プラットフォーム、次世代マイクロチップ向けプラズマプロセス装置に必要な、これまでにない電力供給制御を実現します。Synertia®は、最高速度レベルでプラズマ状態を強力に制御するRF電力システムです。多層メモリや原子スケールのプラズマプロセスの複雑さを管理できるシステムです。

半導体製造工場は、最先端技術の製造拠点です。高度なマイクロチップの製造に必要なプラズマプロセスには、超高速かつリアルタイムのプラズマ制御が不可欠です。信頼性、再現性、歩留まりを向上させるためには、プラズマ挙動と重要なプロセスパラメータを制御するための、構成可能な高速RF電源システムが必要です。

Synertia® RF電力供給プラットフォームは、次世代のより高性能なウェハー処理ツールを実現し、より多くの機能と柔軟性でエッチングおよび成膜プロセスのパフォーマンスを強化します。 RFジェネレータとRFマッチングネットワークネットワークの連携を新たなレベルに引き上げます。デジタル制御テクノロジー、直感的な視覚化、および適切に構造化されたデータ構成により、プラズマプロセスにおける実用的な洞察が得られます。