高性能X線およびCT検査システム
Comet Yxlonは、製造業におけるあらゆる産業検査ニーズをサポートするために設計された、最先端のX線およびCTシステムを幅広く提供しています。特殊システムは、航空宇宙、自動車、エレクトロニクス、科学研究など、さまざまな分野で使用されています。部品の測定単位がマイクロメートルでもメートルでも、オンスでもポンドでも、 Comet Yxlonシステムは、お客様のニーズに合わせて設計されています。多くのシステムは生産ラインに直接統合することができ、生産時間とプロセスを最適化します。
CA20
最高解像度で優れた2Dおよび3D画像を提供するように設計されたCA20 ミクロンサイズの細部を最速で検査することが可能になり、複雑な3D ICの市場投入までの時間を短縮します。
CA20 特徴
- 半導体業界向けに設計されています
- 数分で半田バンプを3D識別できる非破壊技術
- 安定した検査ルーチンをサポートするために設計された、信頼性と精度の高い技術による再現性の高い結果
- Void Insightsによる自動ボイド分析を含む、効率的なソフトウェア支援レビュー
- X線に敏感な部品を保護する線量管理機能
技術データ
| アプリケーション/バージョン | MXI / ラボ | AXI / ファブ |
| 最大検査範囲 | 435 mm (17インチ) | 435 mm (17インチ) |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 1650 x 1400 x 2050 mm | 1955 x 3100 x 2200 mm* |
| システム重量 | 約2350kg | 約3650kg |
| 検出器の有効領域 | 130 x 130 mm | 130 x 130 mm |
| ピクセルマトリックス | 1536 x 1536 ピクセル | 1536 x 1536 ピクセル |
| ピクセルピッチ | 85 µm | 85 µm |
| 斜めからの視点 | ±65°（130°） | ±65°（130°） |
| 最大部品重量 | 1～2kg** | 0.5 kg*** |
| スキャンモード | 2D、2.5D、3D | 2D、2.5D、3D |
*ファンフィルターユニット/クリーンルームクラスによって異なります。**最大部品重量：1kg（カーボンプレート上）、2kg（テーブル側面に固定された部品ホルダー上）。***キャリアの重量を含む全部品の累積重量
CCシリーズ
チーターをご紹介しますEVO そしてクーガーEVO 、マイクロフォーカス インダストリー4.0の要求を満たすように設計された検査システム：チーターEVO はSMT、半導体、ラボ検査に優れており、クーガーはEVO 正確で信頼性の高い産業検査を提供します。
チーターEVO 特徴
- 迅速かつ再現性の高い検査
- VoidInspectによるボイドの自動計算
- eHDRなどの使いやすい強力なフィルター
- micro3DsliceとFF CTソフトウェアを使用した最高のラミノグラフィー
- 線量低減キット、線量モニタリング、および高感度部品向けの低線量検出器モード
- 安定した焦点位置を実現するオプションの新型水冷式X線管
- Optional high load capacity (<20 kg)
技術データ
| サンプルサイズ | 800 x 500 [mm] (31インチ x 19インチ) |
| 最大放射線透過領域 | 460 x 410 [mm] (18インチ x 16インチ) |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 1650 x 1400 x 2050 [mm] |
| システム重量 | 2200 kg |
| ファインフォーカスX線管 | FXT-160.50マイクロフォーカス またはFXT-160.51マルチフォーカス、電圧範囲20～160kV |
| ピクセルマトリックス | 1004 x 620 ピクセル (フラットパネル検出器 1308)、1004 x 1004 ピクセル (フラットパネル検出器 1313)、1276 x 1276 ピクセル (フラットパネル検出器 1616) |
| ピクセルピッチ | 127 µm |
| ビット深度 | 16ビット |
| 斜めからの視点 | ±70°（140°） |
| 3Dモード | ラミノグラフィー（マイクロ3Dスライス）、CTクイックスキャン、クオリティスキャン |
クーガーEVO 特徴
- 手動操作と自動操作による、信頼性が高く、迅速で再現性の高い検査。
- VoidInspectによる自動ボイド計算
- 使いやすい、ダイナミックな強調フィルター（例：eHDR）
- マイクロ3DスライスとFF CTソフトウェアを備えた最高のラミノグラフィー
- 線量低減キットと低線量検出器モードにより、高感度部品の画像化が可能
最小のフットプリント
技術データ
| サンプルサイズ | 440 x 550 [mm] (17インチ x 21インチ) |
| 最大放射線透過領域 | 310 x 310 [mm] (12インチ x 12インチ) |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 1000 x 1050 x 2200 [mm] |
| システム重量 | 1450 kg |
| ファインフォーカスX線管 | FXT-160.50マイクロフォーカス またはFXT-160.51マルチフォーカス、電圧範囲20～160kV |
| ピクセルマトリックス | 1004 x 620 ピクセル (フラットパネル検出器 1308)、1004 x 1004 ピクセル (フラットパネル検出器 1313)、1276 x 1276 ピクセル (フラットパネル検出器 1616) |
| ピクセルピッチ | 127 µm |
| ビット深度 | 16ビット |
| 斜めからの視点 | ±70°（140°） |
| 3Dモード | ラミノグラフィー（マイクロ3Dスライス）、CTクイックスキャン、クオリティスキャン |
UXシリーズ
UX50とUX20は、優れた性能を発揮する先進的なミニフォーカスおよびメソフォーカス検査システムです。UX50は、広い検査範囲、複数の拡張視野、強力な450kV X線管を備えており、複雑で高密度の部品の検査に最適です。UX20は直感的な操作性を備えており、あらゆるレベルの専門知識を持つユーザーが、手動、アシスト、自動の各モードで、X線およびCT検査を効率的かつ迅速に実行できます。
UX50の機能
- 高出力450kV X線管
- ライン検出器またはフラットパネル検出器のいずれかを装備できます。
- 直感的なユーザーインターフェース
- 2D/3Dにおける国際規格に準拠
- コンパクト設計
- 自動車、金属鋳造、積層造形などの用途に適しています。
技術データ
| サンプル直径 | 600 [mm] |
| サンプル高さ | 850 [mm] フラットパネル検出器 / 800 [mm] ライン検出器 |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 2,620 x 1,945 x 2,560 [mm] フラットパネル検出器 / 2,620 x 2,585 x 2,775 [mm] ライン検出器 |
| 最大サンプル重量 | 100 [kg] |
| X線管 | 450 kVミニフォーカス |
| 検出器の種類 | フラットパネル検出器4343 Nおよび/またはComet Yxlonライン検出器CTスキャン3 |
| CTモード | コーンビームCT、クイックスキャン、クオリティスキャン、ヘリエクステンド、スピードモード、ファンビームCT、スキャンエクステンド（視野拡張）、ボリュームクロップ |
| ボクセルサイズ | 最小55μmまで |
| フラットパネル検出器搭載の検査用エンベロープCT（3D） | 570 x 850 [mm] |
| ライン検出器付き検査エンベロープCT（3D） | 600 x 800 [mm] |
| 検査用封筒 DR (2D) | 520 x 850 [mm] |
| 操作 | 5軸 |
UX20の機能
- 鋳造向けに現場で実績のあるADRソフトウェア
- 最高水準の高画質
- 高速2Dおよび3D検査
- オプションのメソフォーカスX線管（225kV）
- 散乱補正（アンチ散乱）による画像最適化 2.0
- 自動データ転送
- スマートガード（衝突防止）
- コンパクトな設置面積
- 堅牢な設計
技術データ
| 構成 | フラットパネル検出器 2323 HB | フラットパネル検出器 4343 DXi |
| 最大サンプル重量 | 100 [kg] | 100 [kg] |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 2250 x 1770 x 2350 [mm] | 2250 x 1770 x 2350 [mm] |
| 使用可能なX線管 | 160～225 kV ミニフォーカス、225 kV MesoFocus | 160～225 kV ミニフォーカス、225 kV MesoFocus |
| 検出器の有効領域 | 1280 x 1280 [ピクセル] | 3072 x 3072 [ピクセル] |
| ピクセルピッチ | 179 [µm] | 139 [µm] |
| 斜めからの視点 | ±55（中央ビームで45°） | ±55（中央ビームで45°） |
| CTモード | コーンビームCT、クイックスキャン、クオリティスキャン、フレックスセンター（仮想回転軸）、ズームスキャン、スピードモード、スキャンエクステンド（視野拡張） | コーンビームCT、クイックスキャン、クオリティスキャン、フレックスセンター（仮想回転軸）、ズームスキャン、スピードモード、スキャンエクステンド（視野拡張） |
| 検査用封筒 DR (2D) | 710 x 1090 [mm] | 800 x 1100 [mm] |
| 検査用エンベロープCT（3D） | 190 x 165 [mm] | 340 x 280 [mm] |
| ScanExtendを使用した検査用エンベロープCT（3D） | 315 x 1085 [mm] | 540 x 1100 [mm] |
| 操作 | 5軸 | 5軸 |
FFシリーズ
FF85 CTの特長
- 2つのX線管、フラットパネル検出器、ライン検出器を備え、マイクロCTから高エネルギーCTまで幅広い用途に対応します。
- ヘリカルCTおよびデュアルヘリカルCT技術による、汎用性の高い視野拡張と広範囲の検査範囲。
- 花崗岩製のベースにより、最適な温度環境と精密な操作を実現
- 最大7軸の操作が可能で、高い汎用性を実現。
- 直感的Geminy タッチスクリーンを備えたユーザーインターフェースで、システム操作が簡単
技術データ
| サンプル直径（1） | 最大1800（mm） |
| サンプル高さ（1） | 最大3000 [mm] |
| 最大サンプル重量（1） | 1000 [kg] |
| 焦点距離検出器距離（FDD）（2） | 最大3700 [mm] |
| 使用可能なX線管 | 600kVミニフォーカス 450 kV ミニフォーカス 450 kV Mesofocus 300 kVマイクロフォーカス 225 kVマイクロフォーカス 190 kVナノフォーカス |
| 利用可能なX線検出器 | フラットパネル検出器 ライン検出器アレイ |
| 利用可能なCTモード | コーンビームCT、クイックスキャン、クオリティスキャン、ヘリエクステンド、フレックスセンター（仮想回転軸）、ズームスキャン、レイヤースキャン、スピードモード、ファンビームCT、スキャンエクステンド（視野拡張）、ボリュームクロップ |
| 操作 | 7軸、花崗岩の台座 |
（１）選択した構成によって異なります。この図は、特大部品の構成を示しています。
（２）ミニフォーカスおよびライン検出器の仕様
FF35 CTの特徴
- 1本または2本のチューブ構成により、実験室用マイクロCTアプリケーションに最大限の汎用性を提供します。
- 225 kV とマイクロフォーカス チューブと190kVナノフォーカス ボタン一つで数秒以内にチューブが
- 花崗岩加工と空調設備による正確な結果
- ソフトウェアプラットフォームによる様々なCT軌道と視野拡張を通じたアプリケーションの柔軟性Geminy
- オプションの計測バージョン、MPESD = 5.9 µm + L/75 [Lはmm単位]
- FF35 CT SEMI 半導体市場規格に準拠したバージョンが利用可能です
- 新機能！最大試料重量が50kgに更新されました。
技術データ
| サンプル直径 | 530 [mm] (20.9インチ) |
| サンプル高さ | 800 [mm] (31.5インチ) |
| 最大サンプル重量 | 50 [kg] |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 2960 x 1590 x 2120 [mm] |
| X線管 | 160 kVナノフォーカス管または190 kVを含むシングルまたはデュアル管システム透過型 チューブと 225 kV指向形 ビームチューブ |
| 利用可能なCTモード | コーンビームCT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、LayerScan、ScanExtend（視野拡張）、ボリュームクロップ |
| 操作 | 花崗岩ベース、アクティブエアダンピング、6～8軸、広いFDD範囲 |
FF20 CTの機能
- 実験室用途における高精度な材料分析
- 190 kVで150 nmまでの2次元詳細画像が確認可能透過型 チューブ
- 花崗岩ベースによる精密な動作と温度安定性
- 直感的Geminy タッチスクリーンを備えたグラフィカルユーザーインターフェース
技術データ
| サンプル直径 | 380 [mm] (11.02インチ) |
| サンプル高さ | 700 [mm] (27.6インチ) |
| 最大サンプル重量 | 17 [kg] |
| システム寸法（幅／奥行／高さ） | 2380 x 945 x 2180 [mm] |
| X線管 | 190 kV透過型 チューブ |
| 利用可能なCTモード | コーンビームCT、クイックスキャン、クオリティスキャン、ヘリエクステンド、フレックスセンター（仮想回転軸）、ズームスキャン、レイヤースキャン、スピードモード、スキャンエクステンド（視野拡張）、ボリュームクロップ |
| 操作 | 花崗岩ベース、アクティブエアダンピング、6軸、広範囲のFDD範囲 |
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