強力なX線およびCT検査システム

Comet Yxlonは、製造業におけるあらゆる産業検査ニーズをサポートするように設計された、最先端の幅広いX線およびCTシステムを提供しています。専用システムは、航空宇宙、自動車、エレクトロニクス、科学・研究など、さまざまな分野で使用されています。お客様のコンポーネントがマイクロメートル単位かメートル単位か、オンス単位かポンド単位かにかかわらず、それに適合するComet Yxlonシステムがあります。多くのシステムは生産ラインに直接統合して、生産時間とプロセスを最適化できます。

CA20

最高解像度で優れた2Dおよび3D画像を提供するよう設計されたCA20により、ミクロンサイズの詳細部の最も早い検査が可能になり、複雑な3D ICの市場投入までの時間が短縮されます。

CA20の特長

  • 半導体業界向けに設計
  • わずか数分でソルダーバンプを3D識別できる非破壊技術
  • 安定した検査ルーチンをサポートする信頼性と精度の高い技術により、再現性の高い結果を実現
  • Void Insightsを活用した自動ボイド解析など、ソフトウェアによる効率的なレビュー
  • X線感応コンポーネントを保護するDose Manager

技術データ

用途 / バージョンMXI / ラボAXI / ファブ
最大検査範囲435 mm (17")435 mm (17")
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)1650 x 1400 x 2050 mm1955 x 3100 x 2200 mm*
装置重量~ 2350 kg~ 3650 kg
検出器有効面積130 x 130 mm130 x 130 mm
ピクセルマトリクス1536 x 1536 px1536 x 1536 px
画素ピッチ85 µm85 µm
斜め方向観察+/- 65° (130°)+/- 65° (130°)
最大ワーク重量1 - 2 kg**0.5 kg***
スキャンモード2D、2.5D、3D2D、2.5D、3D

*ファンフィルタユニット／クリーンルームのクラスによって異なります。**最大ワーク重量：1 kg（カーボンプレート上）、2 kg（テーブル側に固定されたワークホルダ上の場合）。***キャリアの重量を含む全ワークの総積算重量

CC Series

インダストリー4.0の要求に応えるべく設計されたマイクロフォーカス検査システム、Cheetah EVOとCougar EVOをご紹介します。Cheetah EVOはSMT、半導体、研究室での検査に優れ、Cougar EVOは高精度で信頼性の高い産業検査を実現します。

Cheetah EVOの特長

  • 迅速かつ再現性の高い検査
  • VoidInspectによるボイドの自動計算
  • eHDRなどの使いやすく強力なフィルター
  • micro3DsliceおよびFF CTソフトウェアによる優れたラミノグラフィ
  • 線量低減キット、線量モニタリング、デリケートな部品に対応する低線量検出器モード
  • 安定した焦点位置を実現する新しい水冷式X線管（オプション）
  • Optional high load capacity (<20 kg)

技術データ

サンプルサイズ800 x 500 [mm] (31'' x 19'')
最大放射線透過エリア460 x 410 [mm] (18'' x 16'')
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)1650 x 1400 x 2050 [mm]
装置重量2200 kg
FeinFocus X線管FXT-160.50 マイクロフォーカス または FXT-160.51 マルチフォーカス、電圧範囲 20 ～ 160 kV
ピクセルマトリクス1004 x 620 px（フラットパネルディテクタ 1308）、1004 x 1004 px（フラットパネルディテクタ 1313）、1276 x 1276 px（フラットパネルディテクタ 1616）
画素ピッチ127 µm
ビット深度16 bit
斜め方向観察± 70°（140°）
3Dモードラミノグラフィ（micro3Dslice）、CT QuickScan、QualityScan

Cougar EVO の特長

  • 手動および自動操作による、信頼性が高く高速で再現性のある検査
  • VoidInspectによる自動ボイド計算
  • 使いやすく、eHDRなどの動的強調フィルターを搭載
  • マイクロ3DスライスとFF CTソフトウェアによる優れたラミノグラフィ
  • 線量低減キットと低線量検出器モードにより、感応コンポーネントのイメージングが可能
    最小限の設置面積

技術データ

サンプルサイズ440 x 550 [mm] (17'' x 21'')
最大放射線透過エリア310 x 310 [mm] (12'' x 12'')
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)1000 x 1050 x 2200 [mm]
装置重量1450 kg
FeinFocus X線管FXT-160.50 マイクロフォーカス または FXT-160.51 マルチフォーカス、電圧範囲 20 ～ 160 kV
ピクセルマトリクス1004 x 620 px（フラットパネルディテクタ 1308）、1004 x 1004 px（フラットパネルディテクタ 1313）、1276 x 1276 px（フラットパネルディテクタ 1616）
画素ピッチ127 µm
ビット深度16 bit
斜め方向観察± 70°（140°）
3Dモードラミノグラフィ（micro3Dslice）、CT QuickScan、QualityScan

UXシリーズ

UX50およびUX20は、優れた性能を発揮する高度なミニフォーカスおよびメソフォーカス検査システムです。UX50は、広い検査範囲、複数の拡張視野、強力な450 kV X線管を備えており、複雑で高密度な部品の検査に最適です。UX20は直感的な操作性を備え、あらゆる習熟度のユーザーが、手動、アシスト、自動モードで効率的かつ迅速にX線検査およびCT検査を実行できるようにします。

UX50 の特長

  • 高出力 450 kV X線管
  • ライン検出器またはフラットパネル検出器のいずれかを搭載可能
  • 直感的なユーザーインターフェイス
  • 2D/3Dの国際規格に準拠
  • コンパクト設計
  • 自動車、金属鋳造、積層造形などのアプリケーションに最適

技術データ

サンプル直径600 [mm]
サンプル高さ850 [mm] フラットパネルディテクタ / 800 [mm] ラインディテクタ
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)2,620 x 1,945 x 2,560 [mm] フラットパネルディテクタ / 2,620 x 2,585 x 2,775 [mm] ラインディテクタ
最大サンプル重量100 [kg]
X線管450 kV ミニフォーカス
ディテクタタイプフラットパネルディテクタ 4343 N および/または Comet Yxlon ラインディテクタ CTScan 3 
CTモードコーンビームCT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、SpeedMode、ファンビームCT、ScanExtend（視野拡張）、ボリュームクロップ
ボクセルサイズ最小 55 [µm]
CT検査有効範囲（3D、フラットパネルディテクタ使用時）570 x 850 [mm]
ラインディテクタ付き検査範囲 CT（3D）600 x 800  [mm]
検査範囲 DR（2D）520 x 850 [mm]
マニピュレーション5軸

UX20の特長

  • 実績のある鋳造用ADRソフトウェア
  • ベンチマークとなる高画質
  • 高速な2次元および3D検査
  • オプションの225 kVメソフォーカスX線管
  • Scatter Fix（散乱線補正）2.0による画像最適化
  • 自動データ転送
  • スマートガード（衝突防止機構）
  • 省スペース設計
  • 堅牢な設計

技術データ

構成フラットパネルディテクタ 2323 HBフラットパネルディテクタ 4343 DXi
最大サンプル重量100 [kg]100 [kg]
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)2250 x 1770 x 2350 [mm]2250 x 1770 x 2350 [mm] 
対応X線管160〜225 [kV] ミニフォーカス、225 kV MesoFocus160〜225 [kV] ミニフォーカス、225 kV MesoFocus
検出器有効面積1280 x 1280 [px]3072 x 3072 [px]
画素ピッチ179 [µm]139 [µm]
斜め方向観察+/-55 (中心ビームで45°)+/-55 (中心ビームで45°)
CTモードコーンビームCT、QuickScan、QualityScan、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、SpeedMode、ScanExtend（FoV拡張）コーンビームCT、QuickScan、QualityScan、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、SpeedMode、ScanExtend（FoV拡張）
検査範囲 DR（2D）710 x 1090 [mm]800 x 1100 [mm]
検査範囲 CT（3D）190 x 165 [mm]340 x 280 [mm]
ScanExtend付き検査範囲 CT（3D）315 x 1085 [mm]540 x 1100 [mm]
マニピュレーション5軸5軸

FFシリーズ

FF85 CTの特長

  • マイクロCTから高エネルギーCTまで幅広い用途に対応する2本の管球、フラットパネル検出器、ライン検出器
  • ヘリカルおよびデュアルヘリカルCT技術による、汎用性の高い視野の拡張と幅広い検査範囲
  • 最適な温度環境と精密な動作を実現するグラナイトベース
  • 最大7軸の動作による高い汎用性
  • タッチスクリーンを備えた直感的なGeminyユーザーインターフェースにより、簡単なシステム操作を実現

技術データ

サンプル直径 (1)最大 1800 (mm)
サンプル高さ (1)最大 3000 [mm]
最大サンプル重量 (1)1000 [kg]
焦点・検出器間距離 (FDD) (2)最大 3700 [mm]
対応X線管600 kV ミニフォーカス
450 kV ミニフォーカス
450 kV Mesofocus
300 kV マイクロフォーカス
225 kV マイクロフォーカス
190 kV ナノフォーカス
利用可能なX線検出器フラットパネル検出器
ライン検出器アレイ
利用可能なCTモードコーンビームCT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、LayerScan、SpeedMode、ファンビームCT、ScanExtend（視野拡大）、ボリュームクロップ
マニピュレーション7軸、御影石ベース

(1) 選択した構成によって異なります。この数値は特大部品向けの構成を示しています。
(2) ミニフォーカスおよびライン検出器の仕様を表示しています

FF35 CTの特長

  • 1管球または2管球の構成により、ラボ用マイクロCTアプリケーションにおいて最大限の汎用性を発揮
  • ボタンをタッチするだけで、225 kVマイクロフォーカス管球と190 kVナノフォーカス管球を数秒で切り替え可能
  • 御影石ベースの採用と空調システムにより、高精度の測定結果を実現
  • ソフトウェアプラットフォーム Geminy による多彩なCT軌道と視野（FoV）拡大機能を通じた、優れたアプリケーション柔軟性
  • MPESD = 5.9 µm + L/75（Lはmm）に対応するオプショントリロジー（測定）バージョンをご用意
  • 半導体市場の規格に準拠したFF35 CT SEMIバージョンをご用意
  • NEW! 最大サンプル重量が50 kgに更新されました。

技術データ

サンプル直径530 [mm] (20.9")
サンプル高さ800 [mm] (31.5")
最大サンプル重量50 [kg]
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)2960 x 1590 x 2120 [mm]
X線管160 kVナノフォーカス管または190 kV透過型管、および225 kV指向形管を含むシングルまたはデュアル管システム
利用可能なCTモードコーンビームCT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、LayerScan、ScanExtend（FoV拡張）、ボリュームクロップ
マニピュレーショングラナイトベース、アクティブ防振、6〜8軸、ワイドFDDレンジ

FF20 CT の特長

  • 研究室用途における高精度な材料分析
  • 190 kV透過型管による150 nmまでの詳細な2次元可視化
  • グラナイトベースによる高精度な操作性と温度安定性
  • タッチスクリーンを備えた直感的なGeminyグラフィカルユーザーインターフェース

技術データ

サンプル直径380 [mm] (11.02")
サンプル高さ700 [mm] (27.6")
最大サンプル重量17 [kg]
装置寸法 (幅/奥行き/高さ)2380 x 945 x 2180 [mm]
X線管190 kV 透過型 X線管
利用可能なCTモードコーンビームCT、QuickScan、QualityScan、HeliExtend、FlexCenter（仮想回転軸）、ZoomScan、LayerScan、SpeedMode、ScanExtend（FoV拡張）、ボリュームクロップ
マニピュレーショングラナイトベース、アクティブエアダンピング、6軸、ワイドFDDレンジ

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