ウェハー全体の検査によるTSV内のボイド検出から、はんだバンプの三次元計測のための3D ICスキャンまで、Comet Yxlonはプロセス開発および生産チェーンの重要なステップにおいて、Xtra PerformanceをもたらすハイテクX線検査ソリューションを提供します。
半導体市場はめざましいスピードで進展しており、競争力を維持するには包括的な検査戦略への投資が不可欠です。 Dragonfly AIソフトウェアを搭載した当社のX線検査ソリューションポートフォリオは、コスト削減、市場投入までの期間短縮、および収益率(歩留まり)向上を強力にサポートします。
ラボでの徹底的な原因究明から、ファブの生産ラインに直接組み込める自動化ソリューションの探索まで、当社のXシステムはウェハープロセスからチップパッケージングに至る最も重要な生産フェーズをカバーします。
ICパッケージング:従来型から先端パッケージングまで
より小型で高性能なチップの需要が高まるにつれ、近年、マイクロチップのパッケージングは劇的な進化を遂げています。従来のパッケージングでは、単一のシリコンダイがワイヤボンディングやソルダボンディング(350〜500 µmサイズのソルダボールなど)によって同一平面上の基板に接合されていましたが、先進的なパッケージングでは、シリコン基板や再配線層を使用して複数のダイを接続し、1つの電子デバイスとして一括してパッケージングされます。これにより、3次元配置におけるソルダバンプのサイズがさらに微細化(50〜100 µmのC4バンプ、10 µmのマイクロバンプなど)され、コンピュータ断層撮影(CT)やコンピュータラミノグラフィ(CL)でしか実現できない視点からの、極めて綿密な検査が必要となります。
半導体向けX線検査:
そのゲームチェンジャーたる理由とは?
2.5Dおよび3D X線検査は、スピードと視認性のギャップを埋め、半導体メーカーが非破壊でデバイスの内部状態をこれまでにない精度で把握することを可能にします。しかし、これらの技術はどのように機能するのでしょうか?
2.5D X線
2.5D X線は、複数の角度から撮影した画像を組み合わせて奥行き感のある情報(「疑似3D」ビュー)を提供します。3Dのような完全な演算負荷をかけずに優れた奥行き判別を実現できるため、スピードが重視されるインライン検査に最適です。
TSV Insights X 2.5Dソフトウェアのスクリーンショット。すべてのTSVにボイドが意図的に形成されたウェハーサンプルを示しています(出典:Fraunhofer IZM-ASSID)。画像は、各TSVのセグメンテーション(黄色)とその内部のボイド(赤色)を示しています。
3D X線(CT)
3D X線(CTまたはコンピュータ断層撮影)は、サンプルの真のボリュメトリック画像を再構築します。これにより、エンジニアはコンポーネントを仮想的にスライスして各層を検査し、隠れた内部構造を高精度で明らかにすることができます。これは先進的なパッケージングや故障解析に不可欠です。
CPU内のマイクロバンプの3D X線画像。CA20で撮影し、Dragonfly 3D Worldでレンダリング。
お客様の検査における課題は何ですか?
フロントエンド:ウェハー内のTSV
重要なプロセスステップにX線検査を導入することで、ウェハーの開発と生産を改善できます。当社の検査ソリューションは、完全なウェハー、クーポン、ダイの分析に最適化されており、ラボ内またはファブラインに直接統合して、TSV内の重大な欠陥を特定します。
バックエンド:パッケージ化されたチップ内の
ソルダバンプ
ダイアタッチのプロセス開発および生産において、ソルダバンプ内のサブミクロン単位の詳細な画像を鮮明に取得し、ヘッドインピロー、ソルダバンプのずれ、ボイドなどの重大な欠陥を特定することで、極めて重要な知見を得ることができます。
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ウェハーの品質検査から先進的パッケージングの完全な3D分析に至るまで、当社の技術と半導体分野におけるその応用の可能性について簡潔に解説した、専用の半導体パンフレットを下記よりダウンロードしてください。
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AIを活用したインサイト
Powered by Dragonfly
当社のComet Yxlon検査システムには、CometブランドであるDragonflyの先進的な3D可視化・分析ソフトウェアが搭載されています。科学と研究にルーツを持つ革新的な企業として、Dragonflyは20年にわたりAI開発の最前線に立ってきました。
主力製品であるDragonfly 3D Worldは、機械学習ベースのセグメンテーションエンジンを使用して、画像から強力な定性的・定量的知見を容易に抽出します。DragonflyとComet Yxlonは共同で、半導体業界の課題や自動化のニーズに特化した強力なソフトウェアパッケージ、ツール、機能を作り上げました。
TSV Insights X 2.5DやCoS Insights X 3Dといった半導体向けソフトウェアパッケージは、Comet Yxlonシステムでのみご利用いただけます。
市販のGPUのスキャンデータから取得した2Dスライス。Dragonfly技術を使用して、ソルダバンプ(黄)、ボイド(赤)、ブリッジ(紫)を識別およびセグメンテーションしています。
あらゆる課題に対応するシステムと構成
CA20
先進的パッケージング向けの完全自動検査ソリューションとしてご利用いただけるCA20は、最高解像度で優れた2Dおよび3D画像を提供し、ソルダバンプやTSVの構造的欠陥を迅速に特定できるよう設計されています。
FF35 CT
オプションのデュアルチューブ構成を備えたFF35 CTは、前例のないCTデータ品質と最高レベルの汎用性を兼ね備えており、特にラボ環境においてその力を発揮します。半導体関連業界での検査用に特別開発された専用バリエーションを備えたFF35 CT SEMIは、業界規格であるSEMI® S2-0818およびSEMI® S8-0218の認証を取得しています。
Cheetah EVO & Cougar EVO
2D/2.5D、3Dラミノグラフィ
およびCT(コンピュータ断層撮影)イメージングのための、高精細な解像度と優れた柔軟性を備えたX線システムです。R&D(研究開発)および従来のパッケージング環境におけるアットライン検査に最適です。当社のCheetah EVO Semiは、SEMI® S2-0818およびSEMI® S8-0218の認証を取得しています。
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今後のイベント
- SEMICON China
📅 2026年3月25日~27日
📍 上海新国際博覧中心(Shanghai New International Expo Centre)
🎫 ブース番号 #2551 - SEMICON Taiwan
📅 2026年9月2日~4日
📍 TaiNEX 1&2(台北南港展覧館)、台北
🎫 ブース未定 - SEMICON Europa
📅 2026年11月10日~13日
📍 メッセ・ミュンヘン(Munich Messe)
🎫 ブース未定 - SEMICON Japan
📅 2026年12月9日~11日
📍 東京ビッグサイト
🎫 ブース未定
X線による半導体検査(pdf)