Leistungsstarke Röntgen- und CT-Prüfsysteme

Comet Yxlon bietet ein breites Portfolio modernster Röntgen- und CT-Systeme für alle industriellen Prüfaufgaben in der Fertigungsindustrie. Spezialisierte Systeme kommen in Bereichen wie Luft- und Raumfahrt, Automotive, Elektronik sowie in Wissenschaft und Forschung zum Einsatz. Ob Ihre Bauteile im Mikrometer- oder Meterbereich, in Gramm oder Kilogramm messen – bei Comet Yxlon finden Sie das passende System. Viele Anlagen lassen sich direkt in Fertigungslinien integrieren, um Taktzeiten und Prozesse zu optimieren.

CA20

Der CA20 liefert hochauflösende 2D- und 3D-Bilder in herausragender Qualität. Er ermöglicht die schnellste Prüfung kleinster Details im Mikrometerbereich und verkürzt so die Time-to-Market für komplexe 3D-ICs.

CA20 Features

  • Entwickelt für die Halbleiterindustrie
  • Zerstörungsfreie Technologie zur 3D-Identifikation von Lötkugeln (Solder Bumps) in wenigen Minuten
  • Reproduzierbare Ergebnisse durch zuverlässige und präzise Technologie für stabile Prüfroutinen
  • Effiziente, softwaregestützte Auswertung inklusive automatisierter Lunkeranalyse mit Void Insights
  • Dose Manager zum Schutz strahlungsempfindlicher Bauteile

Technische Daten

Anwendung/VersionMXI / LabAXI / Fab
Max. Prüfumfang435 mm (17")435 mm (17")
Systemabmessungen (B/T/H)1650 x 1400 x 2050 mm1955 x 3100 x 2200 mm*
Systemgewicht~ 2350 kg~ 3650 kg
Aktiver Bereich Detektor130 x 130 mm130 x 130 mm
Aktiver Bereich Detektor1536 x 1536 px1536 x 1536 px
Pixelabstand85 µm85 µm
Schrägansicht+/- 65° (130°)+/- 65° (130°)
Max. Prüfteilgewicht1 – 2 kg**0,5 kg***
Scan-Modi2D, 2,5D, 3D2D, 2,5D, 3D

*Abhängig von Filterlüftereinheit / Reinraumklasse. **Max. Teileschwere: 1 kg (auf Kohlefaserplatte), 2 kg (auf Bauteilhalter bei Befestigung an der Tischseite). ***Kumuliertes Gewicht aller Teile inkl. Gewicht des Trägers

CC Series

Wir stellen Cheetah EVO und Cougar EVO vor – Mikrofocus-Prüfsysteme, die auf die Anforderungen von Industry 4.0 ausgelegt sind: Die Cheetah EVO glänzt bei SMT-, Halbleiter- und Laborprüfungen, während die Cougar EVO präzise und zuverlässige industrielle Prüfungen ermöglicht.

Cheetah EVO Merkmale

  • Schnelle und reproduzierbare Prüfung
  • Automatische Poren­berechnung mit VoidInspect
  • Benutzerfreundliche, leistungsstarke Filter wie eHDR
  • Hervorragende Laminografie mit micro3Dslice- und FF-CT-Software
  • Low-Dose-Detektormodus für Dosisreduktionskits, Dosisüberwachung und empfindliche Bauteile
  • Optionale neue wassergekühlte Röntgenröhre für eine stabile Fokusposition
  • Optional high load capacity (<20 kg)

Technische Daten

Prüfteilgröße800 x 500 [mm] (31'' x 19'')
Max. 2D-Scanbereich460 x 410 [mm] (18'' x 16'')
Systemabmessungen (B/T/H)1650 x 1400 x 2050 [mm]
Systemgewicht2200 kg
FeinFocus RöntgenröhreFXT-160.50 Mikrofokus oder FXT-160.51 Multifokus, 20 - 160 kV Spannungsbereich
Aktiver Bereich Detektor1004 x 620 px (Flachdetektor 1308), 1004 x 1004 px (Flachdetektor 1313), 1276 x 1276 px (Flachdetektor 1616)
Pixelabstand127 µm
Bit-Tiefe16 bit
Schrägansicht+/- 70° (140°)
3D-ModiLaminografie (micro3Dslice), CT QuickScan, QualityScan

Cougar EVO Merkmale

  • Zuverlässige, schnelle und reproduzierbare Prüfungen im manuellen und automatischen Betrieb
  • Automatische Poren- bzw. Lunkerberechnung mit VoidInspect
  • Einfache Bedienung, dynamische Bildverbesserungsfilter wie z. B. eHDR
  • Hervorragende Laminografie mit micro-3D-Slices und FF-CT-Software
  • Dosisreduktionskit und Detektormodus für niedrige Dosen ermöglichen die Abbildung empfindlicher Bauteile
    Kleinste Stellfläche

Technische Daten

Prüfteilgröße440 x 550 [mm] (17'' x 21'')
Max. 2D-Scanbereich310 x 310 [mm] (12'' x 12'')
Systemabmessungen (B/T/H)1000 x 1050 x 2200 [mm]
Systemgewicht1450 kg
FeinFocus RöntgenröhreFXT-160.50 Mikrofokus oder FXT-160.51 Multifokus, 20 - 160 kV Spannungsbereich
Aktiver Bereich Detektor1004 x 620 px (Flachdetektor 1308), 1004 x 1004 px (Flachdetektor 1313), 1276 x 1276 px (Flachdetektor 1616)
Pixelabstand127 µm
Bit-Tiefe16 bit
Schrägansicht+/- 70° (140°)
3D-ModiLaminografie (micro3Dslice), CT QuickScan, QualityScan

UX Series

UX50 und UX20 sind hochentwickelte Mini-Focus- und Meso-Focus-Prüfsysteme mit herausragender Leistung: Die UX50 bietet einen großen Inspection Envelope, mehrere erweiterte Sichtfelder und eine leistungsstarke 450-kV-Röntgenröhre, womit sie sich ideal für die Prüfung komplexer Teile hoher Dichte eignet; die UX20 bietet eine intuitive Bedienung, sodass Anwender aller Erfahrungsstufen Röntgen- und CT-Prüfungen im manuellen, assistierten und automatischen Modus effizient und schnell durchführen können.

UX50 Merkmale

  • Leistungsstarke 450-kV-Röntgenröhre
  • Wahlweise mit Zeilendetektor oder Flachdetektor ausrüstbar
  • Intuitive Benutzeroberfläche
  • Erfüllt internationale Standards in 2D/3D
  • Kompaktes Design
  • Geeignet für Anwendungen wie Automobilbau, Metallguss und additive Fertigung

Technische Daten

Prüfteildurchmesser600 [mm]
Prüfteilhöhe850 [mm] Flachdetektor / 800 [mm] Zeilendetektor
Systemabmessungen (B/T/H)2.620 x 1.945 x 2.560 [mm] Flachdetektor / 2.620 x 2.585 x 2.775 [mm] Zeilendetektor
Max. Prüfteilgewicht100 [kg]
Röntgenröhre(n)450 kV Minifokus
DetektortypFlachdetektor 4343 N und/oder Comet Yxlon Zeilendetektor CTScan 3 
CT-ModiCone-Beam-CT, QuickScan, QualityScan, HeliExtend, SpeedMode, Fan-Beam-CT, ScanExtend (Sichtfelderweiterungen), Volume Crop
VoxelgrößeBis zu 55 [µm]
Prüfumfang CT (3D) mit Flachdetektor570 x 850 [mm]
Prüfumfang CT (3D) mit Zeilendetektor600 x 800 [mm]
Prüfumfang DR (2D)520 x 850 [mm]
Manipulator5 Achsen

UX20 Merkmale

  • Praxiserprobte ADR-Software für Gussteile
  • Wegweisend hohe Bildqualität
  • Schnelle 2D- und 3D-Prüfung
  • Optionales Mesofokus-Röntgenröhrenmodul 225 kV
  • Bildoptimierung mit Scatter Fix (Antiscoring) 2.0
  • Automatisierter Datentransfer
  • Smart Guard (Kollisionsschutz)
  • Kompakte Stellfläche
  • Robustes Design

Technische Daten

KonfigurationFlachdetektor 2323 HBFlachdetektor 4343 DXi
Max. Prüfteilgewicht100 [kg]100 [kg]
Systemabmessungen (B/T/H)2250 x 1770 x 2350 [mm]2250 x 1770 x 2350 [mm] 
Verfügbare Röntgenröhren160-225 [kV] Minifokus, 225 kV MesoFocus160-225 [kV] Minifokus, 225 kV MesoFocus
Aktiver Bereich Detektor1280 x 1280 [px]3072 x 3072 [px]
Pixelabstand179  [µm]139  [µm]
Schrägansicht+/-55 (45° im Zentralstrahl)+/-55 (45° im Zentralstrahl)
CT-ModiCone-Beam-CT, QuickScan, QualityScan, FlexCenter (virtuelle Drehachse), ZoomScan, SpeedMode, ScanExtend (Sichtfeldberweiterung)Cone-Beam-CT, QuickScan, QualityScan, FlexCenter (virtuelle Drehachse), ZoomScan, SpeedMode, ScanExtend (Sichtfeldberweiterung)
Prüfumfang DR (2D)710 x 1090  [mm]800 x 1100 [mm]
Prüfumfang CT (3D)190 x 165  [mm]340 x 280 [mm]
Prüfumfang CT (3D) mit ScanExtend315 x 1085 [mm]540 x 1100 [mm]
Manipulator5 Achsen5 Achsen

FF Series

FF85 CT Features

  • Zwei Röhren, Flachdetektor und Zeilendetektor für ein breites Anwendungsspektrum von der Mikro-CT bis zur Hochenergie-CT
  • Vielseitige Erweiterung des Sichtfelds, großer Prüfbereich mit Helix-CT- und Dual-Helix-CT-Technologie
  • Granitbasis für ein optimales Temperaturumfeld und präzisen Betrieb
  • Hohe Vielseitigkeit mit bis zu 7 Achsen
  • Intuitive Benutzeroberfläche Geminy mit Touchscreen für eine einfache Systembedienung

Technische Daten

Prüfteildurchmesser (1)bis zu 1800 (mm)
Prüfteilhöhe (1)bis zu 3000 [mm]
Max. Prüfteilgewicht (1)1000 [kg]
Fokus-Detektor-Abstand (FDD) (2)bis zu 3700 [mm]
Verfügbare Röntgenröhren600 kV Minifocus
450 kV Minifocus
450 kV Mesofocus
300 kV Microfocus
225 kV Microfocus
190 kV Nanofocus
Verfügbare Röntgen-DetektorenFlachdetektor
Zeilendetektor
Verfügbare CT-ModiCone-Beam-CT, QuickScan, QualityScan, HeliExtend, FlexCenter (virtuelle Rotationsachse), ZoomScan, LayerScan, SpeedMode, Fan-Beam-CT, ScanExtend (Sichtfeldberweiterungen), Volumenausschnitt
Manipulator7 Achsen, Granitbasis

(1) Abhängig von der gewählten Konfiguration. Dieser Abbildung zeigt die Konfiguration für extragroße Teile
(2) Spezifikation für Minifocus & Zeilendetektor

FF35 CT Merkmale

  • Ein- oder Zwei-Röhren-Konfigurationen für maximale Flexibilität bei Labor-Mikro-CT-Anwendungen
  • Wechsel zwischen 225-kV-Mikrofokus-Röhre und 190-kV-Nanofokus-Röhre in Sekundenschnelle per Knopfdruck
  • Granitkonstruktion und Klimatisierung für präzise Ergebnisse
  • Anwendungsflexibilität durch verschiedene CT-Trajektorien und FoV-Erweiterungen mit der Softwareplattform Geminy
  • Optionale Metrologie-Version mit MPESD = 5,9 µm + L/75 [L in mm]
  • FF35 CT SEMI-Version konform mit den Standards des Halbleitermarktes erhältlich
  • NEU! Max. Prüfteilgewicht wurde auf 50 kg aktualisiert.

Technische Daten

Prüfteildurchmesser530 [mm] (20.9")
Prüfteilhöhe800 [mm] (31.5")
Max. Prüfteilgewicht50 [kg]
Systemabmessungen (B/T/H)2960 x 1590 x 2120 [mm]
Röntgenröhre(n)Einfach- oder Doppelsystem mit 160-kV-Nanofokus-Röhre oder 190-kV-Transmissionsröhre und
225-kV-Röhre mit gerichtetem Strahl
Verfügbare CT-ModiKegelstrahl-CT, QuickScan, QualityScan, HeliExtend, FlexCenter (virtuelle Drehachse), ZoomScan, LayerScan, ScanExtend (Sichtfeldberichserweiterungen), Volumenschnitt
ManipulatorGranitbasis, aktive Luftdämpfung, 6 bis 8 Achsen, großer FDD-Bereich

FF20 CT Merkmale

  • Präzise Materialanalyse in Laboranwendungen
  • Detaillierte 2D-Sichtbarkeit bis zu 150 nm mit 190-kV-Transmissionsröhre
  • Präziser Betrieb und Temperaturstabilität dank Granitbasis
  • Intuitive grafische Benutzeroberfläche Geminy mit Touchscreen

Technische Daten

Prüfteildurchmesser380 [mm] (11.02")
Prüfteilhöhe700 [mm] (27.6")
Max. Prüfteilgewicht17 [kg]
Systemabmessungen (B/T/H)2380 x 945 x 2180 [mm]
Röntgenröhre(n)190-kV-Transmissionsröhre
Verfügbare CT-ModiCone-Beam-CT, QuickScan, QualityScan, HeliExtend, FlexCenter (virtuelle Rotationsachse), ZoomScan, LayerScan, SpeedMode, ScanExtend (Sichtfeldberweiterungen), Volumenausschnitt
ManipulatorGranitbasis, aktive Luftdämpfung, 6 Achsen, großer FDD-Bereich

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