2026年4月30日

Comet 正在扩展与伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校核能、等离子体与辐射工程系(NPRE)的研究合作,以加强在等离子体工艺前沿研究方面的协作。

自2022年以来,Comet 一直与大卫·鲁齐克(David Ruzic)教授以及伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校格雷因杰工程学院下属的等离子体-材料相互作用中心开展合作。Comet 与伊利诺伊大学的合作汇集了等离子体诊断和能量传输领域的专业知识,这些技术对于优化半导体制造中的等离子体行为至关重要。通过探索各种参数如何影响等离子体工艺,双方正致力于深化对等离子体特性的理解和控制,从而最终提升产品开发水平,并将微芯片生产过程中的不良影响降至最低。

Comet该机构持续提供的支持包括向伊利诺伊大学提供专用设备,以便在真实环境中开展研究,从而推动学术和科研水平提升。这种合作不仅促进了科学进步,还为学生提供了宝贵的实践经验,帮助他们做好应对行业需求的准备,并为半导体领域培养未来人才。

Comet 与伊利诺伊大学之间的知识与资源交流,不仅提升了研究能力,也有助于更深入地理解等离子体行为。通过对科学和学术领域的投资,Comet 不仅能够获得创新的研究见解,同时也为培养具备半导体行业专业知识且积极进取的毕业生做出了贡献。 

该研究协议彰显了双方在共同发展、知识共享以及推动等离子体技术进步方面的承诺。通过此次合作,双方将继续突破界限、提升研究能力,并为半导体行业的进步作出贡献。

伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校

来认识一下大卫·鲁齐克

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