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Synertia® 射频功率传输平台
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Synertia®
Comet Plasma Control Technologies 开发和制造高品质的真空电容器、高性能射频发生器以及 阻抗匹配网络。这些专业产品用于精确控制等离子体工艺,例如薄膜 沉积 及刻蚀等,广泛应用于半导体、平板显示器、太阳能电池板和工业涂层领域。
Synertia® 这是Comet 推出的全新集成式射频功率传输平台 ,可实现前所未有的功率控制。该系统能够应对多层新一代存储器及原子级等离子体工艺的复杂性。
Comet 提供全系列业界领先的匹配网络解决方案。凭借在射频电路建模与设计方面的深厚专业知识,结合卓越的Comet 真空电容器,可确保您的设备具备最高性能、可重复性和可靠性。
功能齐全的射频发生器,频率范围为13 MHz至60 MHz,功率范围为600 W至6 kW,具备脉冲和精确功率控制功能。
市场上电容、功率、电压和驱动系统种类最齐全