以极高速度对等离子体状态进行强力指挥与控制。

随着半导体制造商将器件特征尺寸从纳米级推进到埃米级，并开发新的3D架构以提升器件性能和集成度，关键的等离子体工艺对射频功率输送提出了更高精度和更复杂的控制要求。

Synertia® 针对复杂的脉冲波形和多种脉冲状态，提供无与伦比的阻抗匹配，从而能够定制等离子体条件，以获得最佳的晶圆 ，同时提供业界领先的精度和重复性。

Synertia® 被描述为

1 + 1 = 3

Synertia® 射频功率传输平台 可在连续波、脉冲波和多级脉冲波形中，对每个工艺过渡阶段进行精确优化，从而定制等离子体条件，以获得最佳的
测试结果，晶圆 ，并提供业界领先的精度和重复性，以满足量产 在下一代及更先进工艺节点上的需求。

Synertia® 平台通过超高速通信与协调，进一步增强了射频发生器与射频匹配网络之间的协同效应，并具备强大的数据采集和板载分析能力，可提供可付诸行动的洞察，从而实现比以往任何时候都更复杂的等离子体应用：这标志着深度控制迈向了一个新高度。

Synertia® 平台由射频发生器和射频匹配网络组成，其频率范围和功率等级均十分广泛。