专为在动态载荷下提供最高稳定性而设计。

cito Plus 具有卓越的脉冲质量、稳定性和功率测量精度,使其成为等离子体的最佳选择 沉积 和 刻蚀 应用,以及非半导体应用提供了绝佳的选择。

  • 正常运行时间  表现强劲——重点关注产能 及降低运营成本
  • 精准、可重复性和稳定性带来的价值——满足您的工艺要求
  • 更高的能效——更佳的经济效益和更环保的碳足迹

特点

  • 对称开环响应
  • 高精度功率控制
  • 脉冲频率高达100 kHz
  • CEX 具有可变相位延迟
  • CEX 输出分频器
  • SEMI 符合要求的

福利

  • 可预测的等离子体行为
  • 轻松实现系统集成
  • 可重复的 晶圆 结果
  • 无论线缆长度如何,均能保持稳定
  • 卓越的脉冲波形 ,可驱动任何负载
  • 与全球范围内的大多数生产设备兼容

将功率加载到 3:1 驻波比

对称开环响应

如需升级或更换,请考虑cito Plus

  • 相比当前工具中的内容,稳定性更高
  • 可用于偏压和源功率

“即插即用”系统为您提供

  • 可用接口:模拟、RS-232C 、Ethernet 、Profibus 、匹配网络控制
  • 同轴电缆不敏感——无需根据长度进行调整——保持原有的电缆不变
  • 风冷式,无需冷却管路
  • 简单易用的前面板控制或被动式面板
  • 交流输入覆盖范围广,额定电压为 230 V AC,单相

产品宣传页

用于废水净化的单灯丝等离子体射流的开发与优化

布加勒斯特大学研究了如何开发和优化单丝等离子体喷射技术以用于废水处理。在此过程中,使用了一台cito Plus发生器。

Synertia 射频电源

匹配的性能