Synertia ®射频电源
用户可以完全掌控Synertia® RFG的独特性能加速器，包括可重复性、多级脉冲 以及高速通信。这种响应能力不仅能提供可付诸实践的洞察，还使等离子体应用能够实现前所未有的复杂程度：这标志着深度控制迈上了新台阶。
Comet 射频电源 产品系列
13 - 60
MHz 频率
0.6 - 6
kW 功率
Comet 提供功能齐全的射频电源 ，具备脉冲和精确的功率控制功能。
- 高效设计
- 最新的LDMOS技术
- 脉冲频率高达100 kHz
- 主动式或被动式前面板
- 模拟和串行通信选项
- 输入电压范围为 200 VAC 至 480 VAC
- CEX 具有相位同步的发送器/接收器
cito 此外
等离子体应用（沉积 和刻蚀 ）的最佳选择
cito
您工艺控制的最灵活选择。
匹配的性能
射频功率传输系统, 将匹配与生成器结合起来
Comet 这些产品可能受到美国及其他国家专利的保护。如需详细信息，请查阅我们的 虚拟专利标识
