按规格定制

专为要求最严苛的半导体和薄膜应用而设计

• 专为速度、准确性、精确度和重复性而设计
• 自感应脉冲（无需外部信号）
• 高度优化的驱动系统，背隙极小，可实现卓越的工艺到工艺重复性
• 频率调谐 受支持的
• 可选的VI传感器 

目标市场细分

• 半导体——200 毫米 / 300 毫米
• FPD——LCD、OLED、封装
• MEMS– TSV