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Synertia® 射频功率传输平台
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Synertia®
PECVD工艺中的射频（RF）功率将推动下一代电池的发展。薄膜电池通常采用与半导体相同的制造技术，例如溅射和热蒸发。材料逐层沉积，电池组件则逐件组装。
