Comet 入围国际电影节奖
采用 Synertia® RFG

Comet Synertia® 已入围 2026-2027 年度 Prix IFF – Innovation Fribourg Freiburg 企业类决赛。我们很自豪地看到 Synertia® 被认可为一项在弗里堡州凭借强大的专业技术研发的创新产品，能够满足半导体制造日益严苛的需求。

我们的提名重点是Synertia® RFG ， Comet的射频电源，以及更广泛的Synertia®射频功率传输平台。该平台结合了射频电源 并结合高速通信、数字控制、测量和数据分析等配套网络，实现更高水平的协调等离子体控制。

随着半导体工艺向越来越复杂的结构和工艺配方发展，射频功率传输不仅需要提供精确和可重复的功率，还需要提供先进等离子体应用所需的灵活性和响应能力。

Synertia® 通过紧密协调来解决这个问题射频电源 以及匹配网络。高速通信使两个子系统能够协同响应不断变化的工艺条件，从而优化整个工艺过程中的射频功率输出。该平台支持连续波、脉冲和多级脉冲运行，并可在各个工艺转换点进行精确优化。这种协调的架构创造了超越单个子系统能力的整体性能。

• 多级脉冲可独立配置频率调谐 每级

• 精确的脉搏管理，包括脉冲宽度占空比和上升/下降沿斜率

• 自动频率调谐（AFT）跨度的±10%标称频率 快速适应不断变化的等离子体条件

• 对阻抗变化和反射功率降低的快速响应，包括在以下情况下多级脉冲

• 多种电弧管理检测方法，结合电弧检测和闭环功率控制，旨在最大限度地减少晶圆 废料
• 在整个功率范围内功率精度为设定值的±1%
• 先进制造应用的数字量测和系统控制
• 高速通信和广泛的接口OEM工具集成

Synertia® 的一个关键区别在于，它将射频功率传输与广泛的测量和数据功能相结合。

该平台能够采集和分析大量工艺参数，使工程师能够调查事件、识别工艺行为并优化配方。其集成的测量工作室提供高级示波器、频率分析、史密斯圆图和基于事件的数据记录功能，使用户能够直接访问关键的射频和工艺参数。

这一数字化层有助于缩短故障排除和工艺开发周期。Synertia® 将测量和分析直接集成到射频功率传输环境中，而不是将其视为独立的活动。

对半导体制造商而言，最终的益处在于更深入的工艺控制：更快的响应速度、更精确的功率输出、更优化的匹配、更精密的脉冲控制和实时测量，所有这些都有助于实现稳定且可重复的等离子体条件。这有助于提高性能。晶圆提高工艺均匀性，加速工艺优化，减少停机时间，提高产量。

对于高级应用，Synertia® 还支持更复杂的控制策略。多级脉冲例如，允许在单个过程序列中定义不同的射频条件，而 Auto频率调谐 有助于在工艺条件变化时保持高效的功率传输。结合平台的数据处理能力，这些功能为工程师提供了更多工具，以开发、理解和优化高要求的等离子体工艺。

Synertia® 代表着在以下方面迈出的重要一步： Comet从独立的射频组件向集成式射频功率传输解决方案的演变。为了开发 Synertia®， Comet 我们组建了一支由射频、软件和系统专家组成的专业团队。最终成果并非仅仅是一个新的……射频电源但这是一个集射频功率产生、匹配、测量、通信和数字控制于一体的平台。

该技术由以下方面提供支持： Comet的半导体开发、测试和认证基础设施，包括用于原型制作、环内测试和数据驱动设计验证的高功率射频智能实验室。

Prix​​ IFF – Innovation Fribourg Freiburg 旨在表彰弗里堡州的创新型企业和项目。 Comet入选决赛是对 Synertia® 技术和其背后团队的认可。

颁奖典礼将于2026 年 11 月 11 日在弗里堡举行，届时将公布 2026 年 IFF 奖的获奖者。