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Synertia是Comet公司的集成式射频功率传输平台，可为下一代微芯片的等离子体工艺工具提供前所未有的功率传输控制。Synertia®射频功率系统能够以最高速度对等离子体条件进行强大的控制。该系统能够应对多层存储器和原子级等离子体工艺的复杂性。

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