Synertia®

超快响应

Comet的Synertia ^Synertia®平台能够以全新的水平实时洞察等离子体过程。射频电源Synertia ^RFG对变化具有无与伦比的响应速度。等离子体腔室高速数据采集结合快速测量时间和低延迟数字信号处理，确保快速适应，提高控制和工艺良率。

无论是半导体设备制造商，还是终端芯片生产客户，都能更快地解决关键问题和挑战。这不仅能显著节省时间和成本，还能缩短新产品的上市时间。

稳定、可靠、可重复的等离子体控制

Synertia^的快速响应时间确保在快速变化的工艺条件下也能保持稳定的电力供应。此外，用户还能受益于数据的低延迟。透射式 该工具速度极快，因为它采用了可配置的 EtherCAT ^®接口，同时还确保了简化的系统集成。

集成了先进的功能

Synertia^适用于芯片制造商提出的各种应用需求。AFT 算法使射频电源能够快速适应等离子工艺，而电弧管理则有助于降低……晶圆 降低损坏风险并提高生产效率。此外，集成的测量工作室可节省实验室设备成本，而诸如高级示波器功能之类的应用则可直接访问关键工艺参数。  

协同优化的射频电源

只有当射频功率发生器和相应的匹配网络实现最佳同步并实时通信时，射频系统才能达到最佳性能。这就是…… Synertia ^{® 的}核心在于：高度协同的射频功率传输子系统控制原子级等离子体过程并加速性能。