Synertia®

Synertia®,Comet提供的集成射频功率传输平台，实现了前所未有的 功率传输控制，这是等离子体工艺设备为制造下一代微芯片所需的、前所未有的功率传输控制。Synertia® 是一款射频功率系统，能够以最高速度实现对 等离子体状态的强力指挥与控制。该系统能够管理多层存储器及原子级等离子体工艺的复杂多层存储器和原子级等离子体工艺的复杂性。

半导体 工厂是尖端技术制造的摇篮。制造 制造先进微芯片所需的等离子体工艺，需要超高速、实时的等离子体控制。一套可配置的高速射频功率 系统，以控制等离子体行为和关键工艺参数，从而提高可靠性、可重复性、 以及良率。

该Synertia® 射频功率传输平台 正在推动新一代更高性能的晶圆 处理 工具的开发，并通过提供更丰富的功能和更大的灵活性，提升了刻蚀 和沉积 的工艺性能。它将交互 射频电源 与 射频匹配网络之间的交互提升至全新高度。数字控制技术与直观的可视化功能 的交互提升至全新水平。数字控制技术、直观的可视化以及结构清晰的数据组织，为等离子体工艺提供了可付诸实践的见解。