FXE冷静さを保ち、前進し続けよう

強調するためにメリット 外部冷却が画像性能に与える影響を調べるため、X線焦点位置の時間変化を測定した。結果は、 FXE 160ナノとFXE それぞれ160個のナノCTモジュールで、マイクロフォーカス モード。

図1aでは、冷却チューブと非冷却チューブの測定時間スケールにおける違いが一目瞭然です。円の大きさは、対応する時間経過後の焦点スポットドリフトの空間的な広がりを表しており、これは異なる色で示されています。冷却チューブではスポットドリフトが5分の1に減少し、30分間のウォームアップ期間後の合計ドリフトはわずか2µm（ウォームアップ期間を含めると6.5µm）となります。これに対し、非冷却チューブでは、30分間のウォームアップ後、ドリフトは18µm（ウォームアップ期間を含めると31µm）となります。

X線スポット位置の安定性向上による効果は、図1bと1cに示すテスト画像を比較することで直接的に確認できます。冷却キットを使用せずに撮影した画像では、2 µmのドットパターン（紫色の矢印）が完全にぼやけています。焦点位置が大きくずれているため、1 µmの長方形ブロック（黒色の矢印）は全く見えません。一方、冷却チューブを使用した画像では、2 µmのパターンが鮮明に解像され、1 µmのパターンも安定しています。さらに、10 µm（赤色の長方形）といったより大きなパターンサイズでも、パターン間のコントラストが大幅に向上しています。

冷却効率の向上によるもう一つの利点は、稼働時間敏感な部品を冷却することで、冷却のための運転中断が不要になります。つまり、より長時間作業できるということです。マイクロフォーカス そしてナノフォーカス 動作モード。