解像度を上げるが、さらに大きくする

解像度の向上

増加させることによりFXE -160 Nano CTモジュールの究極の解像度は、高出力ターゲットを使用した場合、0.7 µmの解像度を実現できます。図1は、標準マスクサンプルの典型的な画像を示しており、0.7 µmの構造が鮮明に解像されています。垂直方向と水平方向の構造が、高コントラストで同時に鮮明に解像されています。

注：このような高解像度を実現するには、適切な光学倍率や検出器特性を選択するなど、イメージングチェーン全体を最適化する必要があります。これはインテグレーターの責任です。

各フォーカスモードの最大出力密度も向上しました。これは、解像度の向上に伴う出力の低下がないことを意味します。したがって、従来と同じ撮像速度で、より微細なディテールを解像することが可能です。  

高出力モードでは、最大15Wのターゲット電力で2.8µmの解像度を達成できます。マイクロフォーカス モードでは、最大 10 W のターゲット電力で 1.8 µm の解像度を達成できます。そして最後に、高出力ターゲットで達成可能な最高解像度は、ナノフォーカス モードは0.7µmで、目標出力は最大1.6Wです。

「各フォーカスモードにおける最大出力密度も向上しました。つまり、解像度の向上に伴う出力の低下は一切ありません。」

クリストファー・ニコルソン、プロダクトマネージャー

確かな安定性

高解像度機能を最大限に活用してFXE 160ナノCTは、優れた焦点安定性を提供する外部冷却オプションと組み合わせることで最高の性能を発揮します。焦点の安定性が非常に高いことは、特に高解像度での長時間の画像測定や、3Dトモグラフィーによる詳細な再構成画像の作成において不可欠です。冷却機能により、X線管は過熱することなく長時間連続運転が可能になります。

強調するためにメリット 画像性能に対する外部冷却の影響を調べるため、X線焦点位置を時間経過とともに測定した。結果は、 FXE 160ナノとFXE 160個のナノCTモジュールマイクロフォーカス モード。冷却チューブと非冷却チューブの違いは、図3aですぐにわかります。 

円の直径は、対応する時刻における焦点スポットのドリフトの空間的な広がりを表しており、異なる色で示されている。

冷却チューブを使用するとスポットドリフトが大幅に低減され、30分間の冷却後1時間で合計ドリフトはわずか2µmになります。ウォームアップ 期間。比較として、冷却されていないチューブの場合、同じ期間でのドリフト値は18 µmである。

X線スポット位置の安定性向上による効果は、図3bおよび3cに示すテスト画像に明確に表れています。冷却を行うことで、焦点スポットの動きが抑制され、より小さな特徴（紫色の矢印）も解像できるようになりました。10 µmという比較的大きな特徴（赤い四角）でも、コントラストが大幅に向上しています。

のFXE -160ナノCTは、0.7µmの解像度向上、高出力密度、および焦点スポットの安定性向上を実現しました。