Neue Leistungsanforderungen machen Innovationen unerlässlich

Die Nachfrage nach höherer Leistung bei immer kleineren Chips hat bei Chipherstellern zu einer Zunahme von Ätz- und Abscheideprozessen geführt sowie zu schnelleren Abläufen und häufigeren, kleineren Schritten.

Vor 15 Jahren lag der Standard bei etwa 1 Mio. Zyklen pro Jahr. Mittlerweile sind es eher 1 Mio. Zyklen pro drei Monate oder noch weniger. Auch die Verstellgeschwindigkeit hat im Laufe der Jahre deutlich zugenommen: Heute sind bis zu 1200 _RPM erforderlich, verglichen mit ursprünglich nur 180 _RPM bis 360 _RPM.

Aufgrund der gestiegenen Leistungsanforderungen hinsichtlich Geschwindigkeit und Zyklenzahl von Matching Networks und in der Folge auch von Vakuumkondensatoren hat sich die Lebensdauer herkömmlicher Vakuumkondensatoren – die maßgeblich durch den Time-to-Failure von beweglichen Teilen wie Faltenbälgen oder Antriebssystemen bestimmt wird – deutlich verkürzt.

Die geforderte Geschwindigkeit und die erhöhte Zyklenzahl stellen alle Komponenten des Antriebssystems eines Vakuumkondensators vor große Herausforderungen; die Lebensdauer ist durch Reibung und Verschleiß von Gewindespindel und Mutter begrenzt. Metallpartikelreste vermischen sich mit dem Schmiermittel zu einer pastösen Masse, was zu einem erhöhten Drehmoment und schließlich zu Ausfällen führt. Ein erhöhtes Drehmoment kann zudem eine blockierte Gewindespindel und in der Folge ein blockiertes Antriebssystem verursachen.

Der Bedarf an neuen Technologien war offensichtlich.