Merkmale
- Entwickelt für typische Halbleiteranwendungen
- Optimiertes Faltenbalg-Design für den Hochleistungsbetrieb
- Optimiertes Antriebssystem für schnelle Abstimmung
- Hohe Stromtragfähigkeit bei kompakten Abmessungen
- Austauschbar durch einheitliche Baugröße
- Genormter quadratischer 42-mm-Montageflansch
- Als motorisierter und nicht motorisierter Vakuumkondensator erhältlich
- Ultra Life-Funktion für ausgewählte Typen verfügbar
Anwendungen
Technische Daten
| Bereich der Kapazität Cmax | 30 – 2000 pF |
| Upt-Bereich | 3 – 37 kV |
max. Strom IRMS bei 13,56 MHz | 16 – 107 ARMS |
| Induktivität | ≤ 11 nH |
| Durchmesser | 55, 64, 75 mm |
| Höhe | 128 – 141 mm |
| Kühlsystem | Konvektion |
| RoHS-konform | Verfügbar |
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