Synertia ® HF-Generator

Anwender behalten die volle Kontrolle über die einzigartigen Leistungsbeschleuniger des Synertia® RFG, einschließlich Repetierbarkeit, mehrstufigem Pulsieren und Hochgeschwindigkeitskommunikation. Diese Reaktionsfähigkeit liefert aussagekräftige Einblicke und ermöglicht komplexere Plasmaanwendungen als je zuvor: ein neues Niveau an präziser Steuerung.

Comet-HF-Generator-Produktpalette

13 – 60

MHz Frequenz

0,6 – 6

kW Leistung

Comet bietet voll ausgestattete HF-Generatoren mit Pulsung und präziser Leistungsregelung.

  • Hocheffizientes Design
  • Neueste LDMOS-Technologie
  • Pulsung bis zu 100 kHz
  • Aktives oder passives Frontpanel
  • Analoge und serielle Kommunikationsoptionen
  • Eingangsspannung von 200 VAC bis 480 VAC
  • CEX-Sender/Empfänger mit Phasensynchronisation

cito Plus

Die beste Wahl für Plasmaabscheidungs- und Ätzprozesse

cito

Die vielseitigste Option für Ihre Prozesssteuerung.

Aufeinander abgestimmte Leistung

HF-Leistungsabgabesystem aus Matchbox und Generator

Comet-Produkte können durch Patente in den Vereinigten Staaten und anderen Ländern geschützt sein. Detaillierte Informationen finden Sie in unserer Virtual Patent Marking

Katalog

Eine kompakte Zusammenfassung der HF-Kompetenz und des Produktportfolios von Comet finden Sie auch in unserem Katalog. Blättern Sie online oder bestellen Sie die gedruckte Version.

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