HF-Leistung in einem PECVD-Prozess ermöglicht die nächste Generation von Batterien. Dünnschichtbatterien werden oft mit denselben Techniken wie Halbleiter hergestellt, wie etwa Sputtern und thermischem Aufdampfen. Die Materialien werden Schicht für Schicht aufgetragen und die Batteriekomponenten Stück für Stück montiert.
