Entwickelt für anspruchsvollste Halbleiter- und Dünnschichtanwendungen
- Konzipiert für Geschwindigkeit, Genauigkeit, Präzision und Wiederholgenauigkeit
- Selbsterfassende Pulsung (keine externen Signale erforderlich)
- Hochoptimiertes Antriebssystem mit minimalem Spiel für hervorragende Prozess-zu-Prozess-Wiederholgenauigkeit
- Frequenzabstimmung unterstützt
- Optionaler VI-Sensor
Zielmarktsegmente
- Halbleiter – 200 mm / 300 mm
- FPD – LCD, OLED, Verkapselung
- MEMS – TSV