Konzipiert für höchste Stabilität bei dynamischen Lasten.
cito Plus bietet überragende Pulsqualität, Stabilität und Leistungsmessgenauigkeit und ist damit die beste Wahl für Plasma-Depositions- und Ätzanwendungen sowie für Anwendungen außerhalb der Halbleiterindustrie.
- Hohe Anlagenverfügbarkeit – Fokus auf Durchsatz und geringere Betriebskosten
- Mehr Wert durch Genauigkeit, Repetierbarkeit und Stabilität – erfüllen Sie Ihre Prozessanforderungen
- Höhere Energieeffizienz – bessere Wirtschaftlichkeit und umweltfreundliche Bilanz
Merkmale
- Symmetrisches Open-Loop-Verhalten
- Hochpräzise Leistungsregelung
- Pulsung bis zu 100 kHz
- CEX mit variabler Phasenverzögerung
- CEX-Ausgangsfrequenzteiler
- SEMI-konform
Lastleistung bis zu einem VSWR von 3:1
Symmetrisches Open-Loop-Verhalten
Berücksichtigen Sie cito Plus für Upgrades und Ersatz
- Höhere Stabilität als bei aktuellen Anlagen
- Einsetzbar für Bias und Source
Das Plug & Play-System bietet Ihnen
- Verfügbare Schnittstellen: Analog, RS-232C, Ethernet, Profibus, Steuerung für Matching-Netzwerke
- Unempfindlichkeit gegenüber Koaxialkabeln – keine Längenanpassung erforderlich – behalten Sie Ihre Kabel bei
- Luftgekühlt, keine Kühlleitungen
- Einfache, benutzerfreundliche Bedienung über Frontpanel oder passives Panel
- Großer AC-Eingangsbereich abgedeckt, 230 V AC nominal, einphasig
Flyer
Entwicklung und Optimierung von Einzelfilament-Plasmajets zur Abwasserdekontamination
Die Universität Bukarest hat untersucht, wie eindrahtige Plasmajets für die Abwasseraufbereitung entwickelt und optimiert werden können. Dabei kam ein cito Plus Generator zum Einsatz.