Comet für den Prix IFF
mit Synertia® RFG nominiert

Comet wurde als Finalist in der Kategorie „Enterprise“ für den Prix IFF 2026–2027 (Innovation Fribourg Freiburg) ausgewählt. Wir sind stolz darauf, dass Synertia® als Innovation gewürdigt wird, die mit hoher Fachexpertise im Kanton Freiburg entwickelt wurde und den zunehmend anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht wird.

Unsere Nominierung gilt dem Synertia® RFG, dem HF-Generator von Comet, sowie der umfassenden Synertia® RF Power Delivery Platform. Die Plattform kombiniert HF-Generatoren und Matching-Netzwerke mit Hochgeschwindigkeitskommunikation, digitaler Steuerung, Messwerterfassung und Datenanalyse, um ein neues Niveau der koordinierten Plasmasteuerung zu ermöglichen.

Da Halbleiterprozesse immer komplexere Strukturen und Prozessrezepte erfordern, muss die HF-Leistungsversorgung nicht nur präzise und reproduzierbare Leistung liefern, sondern auch die Flexibilität und Reaktionsfähigkeit bieten, die für fortschrittliche Plasmaanwendungen erforderlich sind.

Synertia® erreicht dies durch die enge Abstimmung von HF-Generator und Matching-Netzwerk. Die Hochgeschwindigkeitskommunikation ermöglicht es beiden Subsystemen, gemeinsam auf veränderte Prozessbedingungen zu reagieren und so die HF-Leistungsversorgung während des gesamten Prozesses zu optimieren. Die Plattform unterstützt den Dauerstrich-, Puls- und mehrstufigen Pulsbetrieb mit präziser Optimierung bei einzelnen Prozessübergängen. Diese koordinierte Architektur schafft Möglichkeiten, die über die Leistungsfähigkeit der einzelnen Subsysteme hinausgehen.

• Mehrstufiges Pulsen mit unabhängig konfigurierbarer Frequenzabstimmung pro Stufe

• Präzises Pulsmanagement, einschließlich Pulsdauer, Tastgrad sowie Anstiegs- und Abfallzeiten

• Auto Frequency Tuning (AFT) über ±10 % der Nennfrequenz zur schnellen Anpassung an sich ändernde Plasmabedingungen

• Schnelle Reaktion auf Impedanzänderungen und Reduzierung der reflektierten Leistung, auch beim mehrstufigen Pulsen

• Mehrere Methoden zur Lichtbogenerkennung und -steuerung, wobei Lichtbogenerkennung und Leistungsregelung im geschlossenen Regelkreis darauf ausgelegt sind, Ausschuss bei Wafern zu minimieren
• Leistungsgenauigkeit von ±1 % des Sollwerts über den gesamten Leistungsbereich
• Digitale Metrologie und Systemsteuerung für fortschrittliche Fertigungsanwendungen
• Hochgeschwindigkeitskommunikation und eine Vielzahl von Schnittstellen für die OEM-Tool-Integration

Ein entscheidendes Alleinstellungsmerkmal von Synertia® ist die Kombination aus HF-Leistungsabgabe und umfangreichen Mess- und Datenfunktionen.

Die Plattform erfasst und analysiert eine Vielzahl von Prozessparametern, sodass Ingenieure Ereignisse untersuchen, das Prozessverhalten bestimmen und Rezepte optimieren können. Das integrierte Measurement Studio bietet fortschrittliche Funktionen für Oszilloskop, Frequenzanalyse, Smith-Diagramm und ereignisbasiertes Datenlogging, wodurch Anwender direkten Zugriff auf kritische HF- und Prozessparameter erhalten.

Diese digitale Ebene trägt dazu bei, Zyklen für die Fehlerbehebung und Prozessentwicklung zu verkürzen. Anstatt Messung und Analyse als getrennte Aktivitäten zu behandeln, integriert Synertia® diese direkt in die Umgebung der HF-Leistungsabgabe.

Der ultimative Vorteil für Halbleiterhersteller liegt in einer tieferen Prozesskontrolle: Schnellere Reaktionszeiten, präzise Leistungsabgabe, optimiertes Matching, ausgefeiltes Pulsing und Echtzeitmessungen tragen gemeinsam zu stabilen und reproduzierbaren Plasmabedingungen bei. Dies trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit auf Waferebene zu verbessern, die Prozessoptimierung zu beschleunigen, Stillstandszeiten zu reduzieren und den Ertrag zu steigern.

Für anspruchsvolle Anwendungen ermöglicht Synertia® zudem noch ausgefeiltere Steuerungsstrategien. So erlaubt beispielsweise das Multi-Level-Pulsing die Definition unterschiedlicher HF-Bedingungen innerhalb einer einzigen Prozesssequenz, während Auto Frequency Tuning zu einer effizienten Leistungsübertragung bei veränderten Prozessbedingungen beiträgt. Zusammen mit den Datenfunktionen der Plattform bieten diese Funktionen Ingenieuren zusätzliche Werkzeuge zur Entwicklung, zum Verständnis und zur Optimierung anspruchsvoller Plasmaprozesse.

Synertia® markiert einen wichtigen Schritt in der Entwicklung von Comet von einzelnen HF-Komponenten hin zu einer integrierten HF-Systemlösung. Für die Entwicklung von Synertia® stellte Comet ein dediziertes Team zusammen, das Fachwissen in den Bereichen HF, Software und Systemarchitektur vereint. Das Ergebnis ist nicht einfach ein neuer HF-Generator, sondern eine Plattform, in der HF-Erzeugung, Matching, Messung, Kommunikation und digitale Steuerung nahtlos ineinandergreifen.

Die Technologie wird durch die auf die Halbleiterindustrie ausgerichtete Entwicklungs-, Test- und Qualifizierungsinfrastruktur von Comet unterstützt, darunter High-Power-HF-smartLABs für Prototypenbau, In-the-Loop-Tests und datengestützte Designverifizierung.

Der Prix IFF – Innovation Fribourg Freiburg zeichnet innovative Unternehmen und Projekte aus dem Kanton Freiburg aus. Die Nominierung als Finalist ist für Comet eine Anerkennung der Technologie und der Menschen hinter Synertia®.

Die Preisverleihung findet am 11. November 2026 in Freiburg statt, an dem die Gewinner des Prix IFF 2026 bekannt gegeben werden.