Comet nominiert für den Prix IFF
mit Synertia® RFG

Comet Synertia® wurde als Finalist in der Kategorie „Unternehmen“ des Prix IFF 2026–2027 – Innovation Fribourg Freiburg ausgewählt. Wir sind stolz darauf, dass Synertia® als Innovation anerkannt wird, die mit fundierter Expertise im Kanton Freiburg entwickelt wurde und den stetig wachsenden Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht wird.

Unsere Nominierung konzentriert sich auf Synertia® RFG , Comet Der HF-Generator von Synertia® und die umfassendere HF-Leistungsübertragungsplattform ermöglichen eine neue Dimension der koordinierten Plasmasteuerung. Die Plattform kombiniert HF-Generatoren und Anpassungsnetzwerke mit Hochgeschwindigkeitskommunikation, digitaler Steuerung, Messung und Datenanalyse.

Da sich Halbleiterprozesse hin zu immer komplexeren Strukturen und Prozessrezepten entwickeln, muss die HF-Leistungsübertragung nicht nur eine genaue und wiederholbare Leistung liefern, sondern auch die Flexibilität und Reaktionsfähigkeit bieten, die für fortschrittliche Plasmaanwendungen erforderlich sind.

Synertia® löst dieses Problem durch die enge Abstimmung von HF-Generator und Anpassungsnetzwerk. Die Hochgeschwindigkeitskommunikation ermöglicht es beiden Subsystemen, gemeinsam auf sich ändernde Prozessbedingungen zu reagieren und die HF-Leistungsabgabe während des gesamten Prozesses zu optimieren. Die Plattform unterstützt Dauerstrich-, Puls- und Mehrpegelpulsbetrieb mit präziser Optimierung bei einzelnen Prozessübergängen. Diese abgestimmte Architektur schafft Fähigkeiten, die über die der einzelnen Subsysteme hinausgehen.

• Mehrstufige Pulsierung mit unabhängig konfigurierbarer Frequenzabstimmung pro Stufe

• Präzises Pulsmanagement , einschließlich Pulsdauer, Tastverhältnis und Anstiegs-/Abfallflanken

• Automatische Frequenzabstimmung (AFT) über ±10 % der Nennfrequenz zur schnellen Anpassung an veränderliche Plasmabedingungen

• Schnelle Reaktion auf Impedanzänderungen und Reduzierung der reflektierten Leistung, auch während mehrstufiger Pulsation

• Mehrere Verfahren zur Lichtbogenerkennung , einschließlich Lichtbogenerkennung und geschlossener Leistungsregelung, um Wafer-Ausschuss zu minimieren.
• Leistungsgenauigkeit von ±1 % des Sollwerts über den gesamten Leistungsbereich
• Digitale Metrologie und Systemsteuerung für fortschrittliche Fertigungsanwendungen
• Hochgeschwindigkeitskommunikation und eine breite Palette von Schnittstellen für OEM -Toolintegration

Ein wesentliches Unterscheidungsmerkmal von Synertia® ist die Kombination von HF-Leistungsübertragung mit umfassenden Mess- und Datenfunktionen.

Die Plattform erfasst und analysiert eine Vielzahl von Prozessparametern und ermöglicht es Ingenieuren, Ereignisse zu untersuchen, Prozessverhalten zu identifizieren und Rezepturen zu optimieren. Das integrierte Measurement Studio bietet fortschrittliche Oszilloskop-, Frequenzanalyse-, Smith-Diagramm- und ereignisbasierte Datenprotokollierungsfunktionen und ermöglicht Anwendern den direkten Zugriff auf kritische HF- und Prozessparameter.

Diese digitale Ebene trägt dazu bei, die Zyklen für Fehlersuche und Prozessentwicklung zu verkürzen. Anstatt Messung und Analyse als separate Aktivitäten zu behandeln, integriert Synertia® sie direkt in die HF-Leistungsbereitstellungsumgebung.

Der entscheidende Vorteil für Halbleiterhersteller liegt in der optimierten Prozesskontrolle: Schnellere Reaktionszeiten, präzise Leistungszufuhr, optimierte Anpassung, ausgefeilte Pulsierung und Echtzeitmessung tragen zu stabilen und reproduzierbaren Plasmabedingungen bei. Dies kann die Gleichmäßigkeit auf Wafer-Ebene verbessern, die Prozessoptimierung beschleunigen, Ausfallzeiten reduzieren und die Ausbeute steigern.

Für anspruchsvolle Anwendungen ermöglicht Synertia® auch komplexere Steuerungsstrategien. So lassen sich beispielsweise durch mehrstufiges Pulsieren unterschiedliche HF-Bedingungen innerhalb einer einzigen Prozesssequenz definieren, während die automatische Frequenzabstimmung eine effiziente Leistungsübertragung bei sich ändernden Prozessbedingungen gewährleistet. Zusammen mit den Datenfunktionen der Plattform bieten diese Funktionen Ingenieuren mehr Werkzeuge zur Entwicklung, zum Verständnis und zur Optimierung anspruchsvoller Plasmaprozesse.

Synertia® stellt einen wichtigen Schritt in der Comet Die Entwicklung von Synertia® von einzelnen HF-Komponenten hin zu einer integrierten HF-Leistungsversorgungslösung. Comet Wir haben ein spezialisiertes Team zusammengestellt, das Expertise in den Bereichen Hochfrequenztechnik, Software und Systeme vereint. Das Ergebnis ist nicht einfach nur ein neuer HF-Generator, sondern eine Plattform, auf der HF-Leistungserzeugung, Anpassung, Messung, Kommunikation und digitale Steuerung nahtlos zusammenarbeiten.

Die Technologie wird unterstützt von Comet Die auf Halbleiter spezialisierte Entwicklungs-, Test- und Qualifizierungsinfrastruktur umfasst unter anderem leistungsstarke RF smartLABs für Prototyping, In-the-Loop-Testing und datengesteuerte Designverifizierung.

Der Prix IFF – Innovation Fribourg Freiburg zeichnet innovative Unternehmen und Projekte aus dem Kanton Freiburg aus. Comet Die Auswahl als Finalist ist eine Anerkennung der Technologie und der Menschen hinter Synertia®.

Die Preisverleihung findet am 11. November 2026 in Fribourg statt, bei der die Gewinner des Prix IFF 2026 bekanntgegeben werden.