Synertia®

Ultraschnelle Reaktionszeit

Comet 'S Synertia Die ^Synertia®- Plattform ermöglicht Echtzeit-Einblicke in Plasmaprozesse auf einem völlig neuen Niveau. Der HF-Generator Synertia ^RFG zeichnet sich durch eine unübertroffene Reaktionszeit auf Änderungen in der Plasmakammer aus. Die Kombination aus Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung, kurzer Messzeit und latenzarmer digitaler Signalverarbeitung gewährleistet eine schnelle Anpassung sowie verbesserte Steuerung und Prozessausbeute.

Kritische Probleme und Herausforderungen werden für Semiconductor-Anlagenhersteller sowie für Endkunden aus der Chipfertigung schneller gelöst. Dies führt zu erheblichen Zeit- und Kosteneinsparungen und einer schnelleren Markteinführung neuer Produkte.

Stabile, zuverlässige und reproduzierbare Plasmasteuerung

Die schnelle Reaktionszeit ^von Synertia gewährleistet eine stabile Stromversorgung auch unter schnell wechselnden Prozessbedingungen. Darüber hinaus profitieren Anwender von der geringen Latenz bei der Datenübertragung zum Gerät. Diese ist dank der konfigurierbaren EtherCAT® ^- Schnittstelle blitzschnell und ermöglicht zudem eine reibungslose Systemintegration.

Integrierte erweiterte Funktionen

Synertia ^eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum von Chipherstellern. Der AFT-Algorithmus ermöglicht die schnelle Anpassung des HF-Generators an den Plasmaprozess, und das Lichtbogenmanagement trägt zur Minimierung von Waferschäden und zur Steigerung der Produktivität bei. Darüber hinaus spart das integrierte Messstudio Kosten für Laborausrüstung, und Anwendungen wie die erweiterten Oszilloskopfunktionen ermöglichen den direkten Zugriff auf wichtige Prozessparameter.  

Co-optimierte HF-Leistungsquelle

HF-Systeme erreichen optimale Leistung nur dann, wenn der HF-Leistungsgenerator und das zugehörige Anpassungsnetzwerk optimal synchronisiert sind und in Echtzeit kommunizieren. Das ist es, was Synertia ^{Bei ®} dreht sich alles um: Hochgradig synergisierte HF-Leistungsversorgungssysteme steuern Plasmaprozesse im atomaren Maßstab und beschleunigen die Leistung.