Synertia®

Ultraschnelle Reaktionszeit

Die Synertia^®-Plattform von Comet ermöglicht völlig neue Echtzeit-Einblicke in Plasmaprozesse. Der RF-Generator Synertia^® RFG zeichnet sich durch eine unübertroffene Reaktionszeit auf Veränderungen in der Plasmakammer aus. Die Kombination aus High-Speed-Datenerfassung, schneller Messzeit und digitaler Signalverarbeitung mit geringer Latenz sorgt für eine schnelle Anpassung sowie eine verbesserte Steuerung und Produktionsausbeute.

Kritische Probleme und Herausforderungen werden für Semiconductor-Anlagenhersteller sowie für Endkunden aus der Chipfertigung schneller gelöst. Dies führt zu erheblichen Zeit- und Kosteneinsparungen und einer schnelleren Markteinführung neuer Produkte.

Stabile, zuverlässige und reproduzierbare Plasmasteuerung

Die schnelle Reaktionszeit von Synertia^® hält die Leistungsabgabe auch bei sich rasant ändernden Prozessbedingungen stabil. Darüber hinaus profitieren Anwender von einer extrem latenzarmen und blitzschnellen Datenübertragung zum Tool, die durch die konfigurierbare EtherCAT^®-Schnittstelle gewährleistet wird und gleichzeitig eine schlanke Systemintegration ermöglicht.

Integrierte erweiterte Funktionen

Die Plattform Synertia^® eignet sich für ein breites Spektrum von Anwendungen, die von Chipherstellern gefordert werden. Der AFT-Algorithmus versetzt den RF-Generator in die Lage, sich schnell an den Plasmaprozess anzupassen, während das Arc-Management hilft, Wafer-Schäden zu minimieren und die Produktivität zu steigern. Zudem spart das integrierte Messstudio Kosten für Laborgeräte, und Anwendungen wie die erweiterten Oszilloskop-Funktionen erlauben den direkten Zugriff auf entscheidende Prozessparameter.  

Co-optimierte HF-Leistungsquelle

RF-Systeme können ihre optimale Leistung nur dann entfalten, wenn der RF-Generator und das dazugehörige Matching-Netzwerk optimal aufeinander abgestimmt sind und in Echtzeit kommunizieren. Genau das bietet Synertia^®: Hochgradig synergetische Subsysteme für die RF-Leistungsabgabe steuern Plasmaprozesse im atomaren Bereich und beschleunigen die Performance.