Synertia®

Synertia®, die integrierte HF-Leistungsplattform von Comet, ermöglicht die beispiellose Leistungsregelung, die von Plasmaprozessanlagen für die nächste Generation von Mikrochips benötigt wird. Synertia® ist das HF-Leistungssystem, das eine leistungsstarke Steuerung und Regelung von Plasmabedingungen in höchster Geschwindigkeit gewährleistet. Ein System, das es ermöglicht, die Komplexitäten von Mehrschichtspeichern und atomgenauen Plasmaprozessen zu bewältigen.

Halbleiterfabriken sind die Heimat der fortschrittlichsten Technologiefertigung. Die Plasmoprozesse, die für die Herstellung moderner Mikrochips erforderlich sind, erfordern eine ultraschnelle Echtzeit-Plasmasteuerung. Ein konfigurierbares, schnelles HF-leistungssystem ist unerlässlich, um das Plasmateil und kritische Prozessparameter zu steuern und so Zuverlässigkeit, Wiederholgenauigkeit und Ausbeute zu steigern.

Die Synertia® HF-Leistungsplattform ermöglicht die nächste Generation leistungsstärkerer Waferbearbeitungsanlagen und verbessert die Leistung von Ätz- und Abscheideprozessen durch mehr Funktionalität und Flexibilität. Sie hebt das Zusammenwirken von HF-Generatoren und HF-Anpassungsnetzwerken auf ein neues Niveau. Digitale Steuerungstechnik, intuitive Visualisierung und klar strukturierte Datenorganisation liefern praxisnahe Einblicke in die Plasmaprozesse.